分断装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110000936A

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201811608316.3

    申请日:2018-12-26

    Abstract: 本发明提供能够适当地检测分断板的刀尖的平行度的分断装置。针对刀尖的不同的多个测定点的各个测定点,在通过载台的水平移动和面内旋转部的面内旋转而将刀尖位置检测传感器配置为使检测面位于该测定点的正下方的状态下,使分断板从规定的初始位置下降,测定分断板接触到或接近于检测面时的从初始位置起算的分断板的位移量,求出将针对从多个测定点中预先确定的一个测定点的位移量设为基准位移量时的其他测定点处的位移量与基准位移量的差分值的最大值即最大差分值,在最大差分值为预先确定的阈值以内的情况下,判定为刀尖的平行度充分,在最大差分值超过阈值的情况下,判定为刀尖的平行度不充分。

    划线方法以及划线装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107650277A

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201710164741.7

    申请日:2017-03-17

    CPC classification number: B28D1/225 B28D1/24 B28D7/00

    Abstract: 本发明提供一种划线方法以及划线装置,其能够将刀轮相对于相机的偏移值设定为保持架的最佳位置来进行划线。在进行划线作业之前,在保持刀轮(4)的保持架(11)的左右的支承板(11a、11b)的间隔内,使刀轮(4)移动至一端侧的最大移动地点,并存储该位置处的一端偏移值(ΔY1),接着,使刀轮(4)移动至另一端侧的最大移动地点,并存储该位置处的另一端偏移值(ΔY2),将左右的最大移动地点处的偏移值的中心值作为相机(5)与刀轮(4)的行走线的中心偏移值(ΔY)而存储,基于该中心偏移值(ΔY),使刀轮(4)下降到脆性材料基板(W)而进行划线。

    划刻装置及划刻方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109970330A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201811608317.8

    申请日:2018-12-26

    Abstract: 本发明的目的在于,降低在形成相互平行的多条划刻线时的划刻线的形成位置偏差。对基板进行划刻而形成划刻线的装置具备:划刻轮,其在压接于基板的水平的被划刻面的状态下沿水平方向滚动,由此在基板上形成划刻线;保持器,其以与划刻轮之间具有规定的空隙的状态将划刻轮保持为在铅垂面内旋转自如;以及偏置处理单元,其在由划刻轮在被划刻面上形成相互平行的多个划刻线的情况下,将在紧前面形成的划刻线的从划刻预定位置起算的偏移量确定为偏置量,将下一个形成的划刻线的划刻预定位置相应地偏置该偏置量。

    分断装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110000936B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN201811608316.3

    申请日:2018-12-26

    Abstract: 本发明提供能够适当地检测分断板的刀尖的平行度的分断装置。针对刀尖的不同的多个测定点的各个测定点,在通过载台的水平移动和面内旋转部的面内旋转而将刀尖位置检测传感器配置为使检测面位于该测定点的正下方的状态下,使分断板从规定的初始位置下降,测定分断板接触到或接近于检测面时的从初始位置起算的分断板的位移量,求出将针对从多个测定点中预先确定的一个测定点的位移量设为基准位移量时的其他测定点处的位移量与基准位移量的差分值的最大值即最大差分值,在最大差分值为预先确定的阈值以内的情况下,判定为刀尖的平行度充分,在最大差分值超过阈值的情况下,判定为刀尖的平行度不充分。

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