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公开(公告)号：CN101440476A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200810161408.1
申请日：2008-09-25
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C16/04
CPC classification number: C23C14/042
Abstract: 本发明公开一种用于平板显示器的薄膜气相沉积的掩模组件。在掩模组件中，清洗该掩模组件以后残留在单元掩模和框架之间的间隙中的清洗液可被最少化。掩模组件包括框架和多个单元掩模。框架包括围绕一开口的一对第一支撑部和一对第二支撑部。多个单元掩模具有至少一组图案开口，多个单元掩模被固定在第一支撑部上，同时多个单元掩模上施加有张紧力。第一支撑部包括第一表面和第二表面。多个单元掩模被固定在第一表面上，并且，第二表面从第一表面沿多个单元掩模的厚度方向具有相对第一表面的高度差。
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