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公开(公告)号：CN101798670A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN201010113665.5
申请日：2010-02-05
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了掩模组件及用于使用该掩模组件的平板显示器的沉积设备。所述掩模组件包括：掩模框架，具有开口和围绕开口的框架；掩模框架上的图案掩模，包括具有至少一个与开口重叠的图案的图案部分和附着到所述框架的焊接部分；至少一个支撑棒，跨过开口并附着到图案掩模。
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