公开(公告)号：CN102622648B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201110111981.3

申请日：2011-04-29

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 朴寅洙 ,  郑在然 ,  金泽兼

IPC: G06M1/272

Abstract: 在此公开了一种使用激光束来计数小电子元件的设备及方法。使用激光束来计数小电子元件的设备包括：供给室，供给小电子元件；光穿透管，连接至供给室的下部，并形成小电子元件下落所经过的路径；激光发射器，发射激光束；光学器件，将由激光发射器发射的激光束转换成水平式光，并将转换而成的水平式光传输至光穿透管侧；以及光电探测器，探测由经过光穿透管的小电子元件散射的光。

公开(公告)号：CN103913402A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201310740858.7

申请日：2013-12-26

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 曹丙雄 ,  李顺教 ,  金泽兼 ,  李昶周

IPC: G01N15/00

Abstract: 本文公开了一种颗粒检查设备，包括：激光源，使激光振荡；激光扫描器部件，反射从激光源振荡的激光，从而形成能够调整宽度和高度的用于使光散射的片；以及拍摄件，拍摄通过激光扫描器部件形成的用于使光散射的片。

公开(公告)号：CN102682334A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201110195089.8

申请日：2011-07-12

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 朴寅洙 ,  金泽兼 ,  郑在然

IPC: G06M11/02

Abstract: 本发明提供了一种用于计量部件的数量的装置及用于计量部件的数量的方法，本装置包括：扫描单元，定位在装载有多个部件的托盘上方，并沿部件的装载方向执行激光扫描，以产生用于计量所装载的多个部件的数量的信号束；以及检测单元，用于通过接收所述信号束来检测所装载的多个部件的数量。根据本发明，由于通过自动地且迅速地计量所装载的多个部件的数量以提高计量部件的数量的传统工序的低效率而使制造工序简化并使工序时间缩短，因此可减少制造成本并提高生产率。

公开(公告)号：CN102680497A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201110132347.8

申请日：2011-05-20

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金泽兼 ,  朴首雄 ,  朴珍远

IPC: G01N21/956

Abstract: 公开了一种用于检测图案缺陷的设备。该用于检测图案缺陷的设备包括：光源，产生并发射光；扫描镜，将从光源发射的光扫描到板；荧光图像检测器，检测在板上发荧光的荧光图像；以及散射光图像检测器，检测在板上散射的散射光图像，从而可在曝光过程期间容易地检测图案缺陷。

公开(公告)号：CN102622648A

公开(公告)日：2012-08-01

申请号：CN201110111981.3

申请日：2011-04-29

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 朴寅洙 ,  郑在然 ,  金泽兼

IPC: G06M1/272

Abstract: 在此公开了一种使用激光束来计数小电子元件的设备及方法。使用激光束来计数小电子元件的设备包括：供给室，供给小电子元件；光穿透管，连接至供给室的下部，并形成小电子元件下落所经过的路径；激光发射器，发射激光束；光学器件，将由激光发射器发射的激光束转换成水平式光，并将转换而成的水平式光传输至光穿透管侧；以及光电探测器，探测由经过光穿透管的小电子元件散射的光。