公开(公告)号：CN1447093A

公开(公告)日：2003-10-08

申请号：CN03101007.5

申请日：2003-01-06

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 安承道 ,  金京洙 ,  曹智万

IPC: G01C19/00 ,  H01L49/00

CPC classification number: B81C1/00301 ,  B81B2201/025 ,  B81B2207/095 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/5783 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0828 ,  Y10T428/24322

Abstract: 本发明将提供以如下内容为特征的微惯性传感器，它包括：下玻璃基片；包括上述下玻璃基片上用来检测第一边缘和第一固定点以及侧面运动检测结构物在内的下硅层；包括分别对应于上述下硅层的第一边缘部、第一固定点及侧面运动检测结构物的第二边缘部、经内设金属线的通孔接合的第二固定点以及上述侧面运动检测结构物之间用来检测垂直方向电容量的第二检测用电极在内的上硅层；在上述上硅层和下硅层之间共熔的接合层；位于上述上硅层上部，并具有设置金属配线的通孔的上玻璃基片。此外，在本发明中提供了微惯性传感器制造方法，本发明的目的在于实现产品的小型化和工艺的简化上。