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公开(公告)号:CN101104624A
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200710129077.9
申请日:2007-07-11
IPC: C07F7/30
CPC classification number: C07F7/30 , C23C16/305 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/144 , H01L45/1616 , H01L45/1683
Abstract: 提供一种锗(Ge)化合物。该Ge化合物具有化学式GeR1xR2y。“R1”是烷基,而“R2”是氢、氨基、烯丙基和乙烯基中的一种。“x”大于0并且小于4,并且“x”和“y”之和等于4。还提供形成Ge化合物的方法、使用该Ge化合物制备相变存储器器件的方法,以及使用该Ge化合物制备的相变存储器件。
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公开(公告)号:CN101104624B
公开(公告)日:2012-11-28
申请号:CN200710129077.9
申请日:2007-07-11
IPC: C07F7/30
CPC classification number: C07F7/30 , C23C16/305 , H01L45/06 , H01L45/1233 , H01L45/144 , H01L45/1616 , H01L45/1683
Abstract: 提供一种锗(Ge)化合物。该Ge化合物具有化学式GeR1xR2y。“R1”是烷基,而“R2”是氢、氨基、烯丙基和乙烯基中的一种。“x”大于0并且小于4,并且“x”和“y”之和等于4。还提供形成Ge化合物的方法、使用该Ge化合物制备相变存储器器件的方法,以及使用该Ge化合物制备的相变存储器件。
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