电子器件以及包括其的半导体装置

    公开(公告)号:CN114203904A

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202110490254.6

    申请日:2021-05-06

    Abstract: 提供一种电子器件,其包括:下电极;上电极,与下电极隔开而不与下电极直接接触;以及在下电极和上电极之间的电介质层,该电介质层包括第一金属氧化物区域、第二金属氧化物区域以及第三金属氧化物区域。第三金属氧化物区域在第一金属氧化物区域和第二金属氧化物区域之间,并包括硼和从铝(Al)、镁(Mg)、硅(Si)或铍(Be)选择的一种或更多种金属元素。在第三金属氧化物区域中,硼(B)的含量小于或等于Al、Mg、Si和/或Be的金属元素的含量。

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