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公开(公告)号:CN110875429A
公开(公告)日:2020-03-10
申请号:CN201910831757.8
申请日:2019-09-04
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了一种开关元件、一种可变电阻存储器装置以及一种制造开关元件的方法。所述开关元件包括:在衬底上的下阻挡电极、在下阻挡电极上的开关图案以及在开关图案上的上阻挡电极。下阻挡电极包括:第一下阻挡电极层以及插入在第一下阻挡电极层和开关图案之间的第二下阻挡电极层,第二下阻挡电极层的密度不同于第一下阻挡电极层的密度。
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公开(公告)号:CN110896087A
公开(公告)日:2020-03-20
申请号:CN201910857500.X
申请日:2019-09-11
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了一种开关元件、可变电阻存储器装置和制造该开关元件的方法。所述开关元件包括:设置在衬底上的下阻挡电极;设置在下阻挡电极上的开关图案;以及设置在开关图案上的上阻挡电极。开关图案包括第一开关图案和第二开关图案,所述第二开关图案设置在第一开关图案上并具有与第一开关图案的密度不同的密度。
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