公开(公告)号：CN115732303A

公开(公告)日：2023-03-03

申请号：CN202211001265.4

申请日：2022-08-19

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李昌润 ,  金铭洙 ,  韩相喆 ,  徐大万

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/24 ,  H05H1/46

Abstract: 一种等离子体生成器包括：同轴管组件、射频(RF)电极和馈送部，馈送部包括内圆周表面，内圆周表面在馈送部的相对的第一端部和第二端部处限定第一凹部和第二凹部。同轴管组件的第一突起耦接到馈送部的第一凹部。RF电极的第二突起耦接到馈送部的第二凹部。馈送部包括第一内表面和第二内表面，第一内表面和第二内表面分别在馈送部的第一端部和第二端部处在内圆周表面中限定第一插入凹槽和第二插入凹槽。第一螺旋弹簧和第二螺旋弹簧分别至少部分地位于第一插入凹槽和第二插入凹槽内。同轴管组件、RF电极和馈送部基于馈送部耦接在同轴管组件与RF电极之间而提供RF电力传输路径。

公开(公告)号：CN119530772A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202410223274.0

申请日：2024-02-28

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李俊昊 ,  韩相喆 ,  金利桓 ,  金延泰

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/50

Abstract: 一种衬垫结构可以包括衬垫和第一块。所述衬垫可以被构造为布置在反应室的内侧壁上，所述反应室被构造为容纳加热器和衬底。所述第一块可以连接到所述衬垫。所述第一块可以包括与所述衬垫的材料不同的材料。