半导体器件及其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118215286A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202311708390.3

    申请日:2023-12-12

    Abstract: 一种半导体器件,包括:源极线,在衬底上沿第一水平方向延伸;沟道层,在垂直于衬底的上表面的竖直方向上延伸,并且包括第一端、与第一端相对的第二端以及将第一端与第二端连接的沟道层侧壁,第一端设置在源极线上;俘获层,设置在沟道层侧壁上;栅绝缘层,设置在俘获层的外表面上;字线,设置在栅绝缘层的至少一个侧壁上,并且在与第一水平方向交叉的第二水平方向上延伸;漏极区,设置在沟道层的第二端上,并且包括金属或金属氮化物;以及位线,设置在漏极区上,并且在第一水平方向上延伸。

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