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公开(公告)号：CN102646613A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201110449880.7
申请日：2011-12-29
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677
Abstract: 本发明构思提供一种衬底处理系统。所述衬底处理系统具有多个加工设备和缓冲台。每个加工设备分别包括传送模块和处理模块，所述传送模块中设置有搬送机器人，所述处理模块连接到所述传送模块。所述缓冲台位于相邻传送模块之间，并且用于在所述传送模块之间传送衬底。所述多个加工设备包括：第一设备，在该第一设备中处理模块位于沿所述传送模块和所述缓冲台排列的方向提供的连接线的第一侧；第二设备，在该第二设备中处理模块位于所述连接线的第二侧。与提供给所述第二设备的传送模块相比较，提供给所述第一设备的传送模块朝向所述连接线的所述第一侧更突出。
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