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公开(公告)号:CN116137275A
公开(公告)日:2023-05-19
申请号:CN202211299272.7
申请日:2022-10-21
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L27/146 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 一种图像传感器,包括:传感器基板,包括多个光感测单元;透明的间隔物层,布置在传感器基板的上侧;以及分色透镜阵列,布置在间隔物层的上侧。分色透镜阵列包括:第一透镜层,包括具有亚波长形状尺寸的第一纳米柱、以及设置在第一纳米柱周围的第一外围材料;以及第一化学机械抛光(CMP)停止层,设置在第一透镜层除了第一纳米柱的上表面之外的整个上表面上。
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