公开(公告)号：CN106469724B

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN201610685667.9

申请日：2016-08-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 拉希尔·阿兹马特 ,  迪帕克·夏尔马 ,  金秀贤 ,  朴哲弘

IPC: H01L27/092

Abstract: 本发明提供了一种半导体装置，该半导体装置包括：衬底，其具有第一逻辑单元、第二逻辑单元和第三逻辑单元；有源图案，其设置在第一逻辑单元至第三逻辑单元中的每一个中，以从衬底突出；以及栅极结构，其与有源图案交叉。第二逻辑单元和第三逻辑单元在第一方向上彼此间隔开，并且第一逻辑单元介于它们之间。有源图案在第一方向上排列，并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸。当在第一方向上测量时，分别在第一逻辑单元和第二逻辑单元中的最邻近的一对有源图案之间的距离与分别在第一逻辑单元和第三逻辑单元中的最邻近的一对有源图案之间的距离不同。

公开(公告)号：CN106469724A

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201610685667.9

申请日：2016-08-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 拉希尔·阿兹马特 ,  迪帕克·夏尔马 ,  金秀贤 ,  朴哲弘

IPC: H01L27/092

CPC classification number: H01L27/0924 ,  H01L27/0207 ,  H01L27/092 ,  H01L27/11807 ,  H01L29/0649 ,  H01L29/775 ,  H01L2027/11859

Abstract: 本发明提供了一种半导体装置，该半导体装置包括：衬底，其具有第一逻辑单元、第二逻辑单元和第三逻辑单元；有源图案，其设置在第一逻辑单元至第三逻辑单元中的每一个中，以从衬底突出；以及栅极结构，其与有源图案交叉。第二逻辑单元和第三逻辑单元在第一方向上彼此间隔开，并且第一逻辑单元介于它们之间。有源图案在第一方向上排列，并且在与第一方向交叉的第二方向上延伸。当在第一方向上测量时，分别在第一逻辑单元和第二逻辑单元中的最邻近的一对有源图案之间的距离与分别在第一逻辑单元和第三逻辑单元中的最邻近的一对有源图案之间的距离不同。