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发明公开
集成电路器件审中-公开

公开(公告)号：CN118335740A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410028320.1

申请日：2024-01-08

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴性律 , 姜明昊 , 李昌炫 , 许芮志

IPC: H01L27/02 , H01L27/088

Abstract: 一种集成电路器件可以包括从基板的表面突出并在第一水平方向上延伸的多个鳍型有源区、在基板上并在第一水平方向上延伸的至少一个栅极柱以及在所述多个鳍型有源区上在第二水平方向上布置的多个栅极组。所述多个栅极组中的每个可以包括在第二水平方向上彼此间隔开的多个栅极图案。所述多个栅极图案中的每个可以在第二水平方向上延伸。所述多个栅极图案可以包括在所述多个栅极组中的对应一个栅极组的在第二水平方向上的至少一端的至少一个虚设栅极图案。所述至少一个虚设栅极图案可以与所述至少一个栅极柱接触并且连接到所述至少一个栅极柱。

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