公开(公告)号：CN102650040B

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201110438960.2

申请日：2011-12-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 大平重男 ,  林镕弼 ,  朴钟培 ,  秋星焕 ,  金钟和 ,  金学柱 ,  金世镇

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/50

CPC classification number: C23C14/10 ,  C23C14/20 ,  C23C14/24 ,  C23C14/505

Abstract: 本发明提供了一种用于外部部件的表面涂覆方法和表面涂覆装置。所述表面涂覆方法包括：在沉积室内放置一个或多个将要被表面涂覆的能够转动和旋转的外部部件预制品；在安装在由外部部件预制品的转动轨迹围成的区域内的蒸发装置上放置一个或多个包含涂覆成分的块；通过在转动和旋转外部部件预制品的同时蒸发所述块，将涂层沉积到每个外部部件预制品的表面上。所述表面涂覆方法和表面涂覆装置在进行涂覆步骤时执行将要被涂覆的对象的旋转和转动，从而能够将蒸发的涂覆成分均匀地扩散到整个沉积室内，并且能够在每个将要被涂覆的对象的整个表面上形成均匀的涂层。

公开(公告)号：CN102650040A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201110438960.2

申请日：2011-12-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 大平重男 ,  林镕弼 ,  朴钟培 ,  秋星焕 ,  金钟和 ,  金学柱 ,  金世镇

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/50

CPC classification number: C23C14/10 ,  C23C14/20 ,  C23C14/24 ,  C23C14/505

Abstract: 本发明提供了一种用于外部部件的表面涂覆方法和表面涂覆装置。所述表面涂覆方法包括：在沉积室内放置一个或多个将要被表面涂覆的能够转动和旋转的外部部件预制品；在安装在由外部部件预制品的转动轨迹围成的区域内的蒸发装置上放置一个或多个包含涂覆成分的块；通过在转动和旋转外部部件预制品的同时蒸发所述块，将涂层沉积到每个外部部件预制品的表面上。所述表面涂覆方法和表面涂覆装置在进行涂覆步骤时执行将要被涂覆的对象的旋转和转动，从而能够将蒸发的涂覆成分均匀地扩散到整个沉积室内，并且能够在每个将要被涂覆的对象的整个表面上形成均匀的涂层。