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公开(公告)号:CN1091944C
公开(公告)日:2002-10-02
申请号:CN97121876.5
申请日:1997-12-10
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/67138 , H01L2924/0002 , Y10T156/1744 , Y10T156/1776 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种引线框输送装置和线键合设备。输送装置分别包括用以移动引线框的前和后机械手,其具有载有引线框的板,用以垂直方向移动板的垂直汽缸,和用以水平方向移动板的水平汽缸。该装置还具有用以检测引线框的传感器,以便控制移动引线框的速度。它可以减小在引线框移动过程中对引线框的冲击,并且可减小IC器件或输送装置的机械磨损。
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公开(公告)号:CN1212230A
公开(公告)日:1999-03-31
申请号:CN97121876.5
申请日:1997-12-10
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L21/67144 , H01L21/67138 , H01L2924/0002 , Y10T156/1744 , Y10T156/1776 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种引线框输送装置和线键合设备。输送装置分别包括用以移动引线框的前和后机械手,其具有载有引线框的板,用以垂直方向移动板的垂直汽缸,和用以水平方向移动板的水平汽缸。该装置还具有用以检测引线框的传感器,以便控制移动引线框的速度。它可以减小在引线框移动过程中对引线框的冲击,并且可减小IC器件或输送装置的机械磨损。
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