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公开(公告)号：CN1357914A
公开(公告)日：2002-07-10
申请号：CN01139653.9
申请日：2001-11-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R15/241
Abstract: 用于监视半导体晶片加工系统中的高压室内的参数的参数监视仪能对高压室内的参数进行监视,它借助于一个电－光转换器,把从高压室产生的电信号转换为光信号,然后借助于一个光－电转换器,把来自电－光转换器的光信号再转换为电信号。于是,由于高压室内的参数不受由高电压带来的电势差的影响,所以可以实时地监视这些参数而不必担心损坏测量设备。
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