公开(公告)号：CN101051619B

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN200710090692.3

申请日：2007-04-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 孙亨一 ,  金永日 ,  梁廷郁 ,  全灿济

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88 ,  G01N21/892 ,  G01B11/00 ,  G01B11/30 ,  G01R31/308 ,  G02F1/133 ,  G02B5/20

Abstract: 本发明提供一种基板检查方法及基板检查装置，其能正确地测定图案的缺陷，该基板检查方法包括：在形成图案的基板上施加检查光的步骤、检测由基板反射的检查光的亮度的步骤及从检测到的亮度判断图案是否有缺陷的步骤。

公开(公告)号：CN101051619A

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200710090692.3

申请日：2007-04-03

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 孙亨一 ,  金永日 ,  梁廷郁 ,  全灿济

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88 ,  G01N21/892 ,  G01B11/00 ,  G01B11/30 ,  G01R31/308 ,  G02F1/133 ,  G02B5/20

Abstract: 本发明提供一种基板检查方法及基板检查装置，其能正确地测定图案的缺陷，该基板检查方法包括：在形成图案的基板上施加检查光的步骤、检测由基板反射的检查光的亮度的步骤及从检测到的亮度判断图案是否有缺陷的步骤。