公开(公告)号：CN111103353A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201910782670.6

申请日：2019-08-23

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李始勳 ,  朴光暋 ,  李旼哲 ,  林载兴

IPC: G01N29/036 ,  G01N29/24

Abstract: 提供一种谐振传感器装置，该谐振传感器装置包括：下电极，位于基底上；压电层，位于下电极上；上电极，位于压电层上；上钝化层，位于上电极上，上钝化层包括疏水性材料；以及气体感测层，位于上钝化层上。

公开(公告)号：CN113777158A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202110648262.9

申请日：2021-06-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 朴光暋 ,  李始勋 ,  林载兴 ,  朴晸浩

IPC: G01N29/02 ,  G01N29/036 ,  G01N29/22 ,  G01N29/24 ,  H05B3/02

Abstract: 提供了一种气体传感器以及包括其的传感器阵列模块和移动装置。所述气体传感器包括：压电式衬底；压电式衬底的上表面上的电极区中的谐振器，谐振器包括叉指换能器电极和连接至叉指换能器电极的叉指换能器焊盘，叉指换能器电极被配置为在电极区的中心区中产生表面声波，表面声波在第一水平方向上传播；压电式衬底的上表面上的电极区的中心区中的感测膜，感测膜包括与目标气体相互作用的感测材料；以及包围压电式衬底的上表面上的电极区的边缘区中的加热器，所述加热器包括被配置为加热感测膜的加热器电极和连接至加热器电极的加热器焊盘，加热器电极和加热器焊盘形成闭合传导回路。