Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN111103353A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201910782670.6
申请日：2019-08-23
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 李始勳 , 朴光暋 , 李旼哲 , 林载兴
IPC: G01N29/036 , G01N29/24
Abstract: 提供一种谐振传感器装置，该谐振传感器装置包括：下电极，位于基底上；压电层，位于下电极上；上电极，位于压电层上；上钝化层，位于上电极上，上钝化层包括疏水性材料；以及气体感测层，位于上钝化层上。
