具有一体扩散器框架的化学汽相沉积装置

    公开(公告)号:CN1540033A

    公开(公告)日:2004-10-27

    申请号:CN200410032705.8

    申请日:2004-04-13

    Inventor: 李澔

    CPC classification number: C23C16/45565 C23C16/455 C23C16/45591 C23C16/5096

    Abstract: 本发明提供一种化学汽相淀积装置,其包括:箱体;基座,位于该箱体内,安装玻璃面板;扩散器,将该箱体内部分割成上部空间和下部空间,具有连接上部空间和下部空间的多个喷射孔;气体注入管,通过扩散器的喷射孔,向箱体内注入气体;以及陶瓷结构,安装在箱体和扩散器之间;其中扩散器周边延长到陶瓷结构的部分表面上。

    具有一体扩散器框架的化学汽相沉积装置

    公开(公告)号:CN1540033B

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN200410032705.8

    申请日:2004-04-13

    Inventor: 李澔

    CPC classification number: C23C16/45565 C23C16/455 C23C16/45591 C23C16/5096

    Abstract: 本发明公开了一种化学汽相沉积装置,其包括:箱体,具有内部空间以及侧壁;基座,位于箱体内,并支撑玻璃基板;扩散器,将箱体的内部空间分割成上部空间和下部空间;扩散器框架,与扩散器在扩散器周边形成一体;气体注入管,通过扩散器的喷射孔向箱体内注入气体;以及陶瓷结构,设置在箱体和扩散器之间,该陶瓷结构被设置在扩散器框架的上侧上方并向箱体的侧壁延伸。

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