公开(公告)号：CN102998790A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201210142509.0

申请日：2012-05-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  李昇浣 ,  金云培 ,  李银圣 ,  丁奎东 ,  张钟贤

IPC: G02B26/02 ,  G02F1/29 ,  G01N21/17

CPC classification number: A61B5/0066 ,  A61B5/444 ,  G01B9/02063 ,  G01B9/02091 ,  G01B11/22 ,  G02B3/14 ,  G02B5/005 ,  G02B21/006 ,  G02B26/005 ,  G02B26/101

Abstract: 本发明提供了数值孔径（NA）控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法。该NA控制单元包括：孔径调节单元，控制光透射穿过的孔径；以及聚焦控制单元，设置在关于孔径调节单元的预定位置、聚焦透射穿过孔径的光并具有可调节的焦距。该可变光学探测器包括：光透射单元；准直器，将透射穿过光透射单元的光准直为平行光；NA控制单元，将光聚焦在要被检查的样品上；以及扫描器，改变透射穿过光透射单元的光的路径，使得样品的预定区域被经过NA控制单元的光来扫描。

公开(公告)号：CN102998790B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210142509.0

申请日：2012-05-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 崔珉硕 ,  李昇浣 ,  金云培 ,  李银圣 ,  丁奎东 ,  张钟贤

IPC: G02B26/02 ,  G02F1/29 ,  G01N21/17

CPC classification number: A61B5/0066 ,  A61B5/444 ,  G01B9/02063 ,  G01B9/02091 ,  G01B11/22 ,  G02B3/14 ,  G02B5/005 ,  G02B21/006 ,  G02B26/005 ,  G02B26/101

Abstract: 本发明提供了数值孔径（NA）控制单元、可变光学探测器以及深度扫描方法。该NA控制单元包括：孔径调节单元，控制光透射穿过的孔径；以及聚焦控制单元，设置在关于孔径调节单元的预定位置、聚焦透射穿过孔径的光并具有可调节的焦距。该可变光学探测器包括：光透射单元；准直器，将透射穿过光透射单元的光准直为平行光；NA控制单元，将光聚焦在要被检查的样品上；以及扫描器，改变透射穿过光透射单元的光的路径，使得样品的预定区域被经过NA控制单元的光来扫描。