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公开(公告)号：CN110900436A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201910653772.8
申请日：2019-07-19
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 一种抛光头包括：载体主体，可拆卸地固定到驱动轴并且具有贯穿载体主体以从载体主体的上表面延伸到载体主体的下表面的多个第一流体通道，第一流体通道的上端部布置成在围绕载体主体的中心轴的圆周方向上彼此间隔开；柔性膜，夹紧到载体主体的下部以形成多个加压腔室，其中，至少一个加压腔室被划分成在围绕柔性膜的中心轴的圆周方向上布置的多个子腔室，子腔室分别与第一流体通道的下端部流体连通；以及流体密封部分，在载体主体上，用于支撑载体主体以使载体主体能够旋转并使流体在密封状态下流入每个第一流体通道。
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