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发明公开
半导体测量设备审中-公开

公开(公告)号：CN117906492A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202310920224.3

申请日：2023-07-25

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李东键 , 李栽源 , 安晋佑 , 吴俊泽 , 黄恩秀

IPC: G01B11/00 , H01L21/66 , G01N21/88 , G01N21/31

Abstract: 公开了半导体测量设备。所述半导体测量设备包括：照明器，被配置为输出具有第一波长带的光和具有与第一波长带不同的第二波长带的光；载物台，测试对象被安置在载物台上；相机，被配置为接收从测试对象反射或散射或者透射通过测试对象的光；以及控制器，被配置为：控制照明器和相机，并且基于通过由相机接收的光指示的信息来测量包括在测试对象中的多个结构。控制器被配置为：在照明器输出具有第一波长带的光时将相机的曝光时间设置为第一曝光时间，并且在照明器输出具有第二波长带的光时将相机的曝光时间设置为与第一曝光时间不同的第二曝光时间。

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