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公开(公告)号：CN109656093A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811060653.3
申请日：2018-09-12
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 郑镛席 , 朴成训 , 金钟洙 , 裵硕钟
IPC: G03F1/36
Abstract: 一种设计光掩模的布局的方法和制造光掩模的方法，该设计光掩模的布局的方法包括：获得掩模图案的设计布局；对设计布局执行光学邻近校正以获得设计数据；获得在根据设计数据曝光光掩模期间出现的图案的位置误差数据；基于位置误差数据来校正图案的位置数据以校正设计数据；以及将经校正的位置数据提供给曝光设备以根据经校正的设计数据用曝光光束来曝光衬底。
公开(公告)号：CN109656093B
公开(公告)日：2024-04-02
公开(公告)号：CN110217606A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910112110.X
申请日：2019-02-13
Inventor： 金辅成 , 金官浩 , 朴成训 , 李在南
IPC: B65G65/00 , B65G47/74
Abstract: 提供了一种具有多级装载结构的自动引导车，其包括车身和在所述车身中的装载机，所述装载机可用于多级方式装载物品。所述装载机具有装载单元，所述装载单元位于以多级方式装载的物品之间，并单独地装载物品。所述装载单元能够上下移动。
公开(公告)号：CN110217606B
公开(公告)日：2022-07-01
