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公开(公告)号：CN115910846A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211033019.7
申请日：2022-08-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 一种示教设备包括：腔室；在腔室中的静电卡盘，该静电卡盘包括围绕装载区域的侧壁；对准器，其被配置为被装载到静电卡盘的装载区域上；视觉传感器，其被配置为通过测量对准器与静电卡盘的侧壁之间的分离区域的分离距离来获得测量数据并发送该测量数据；传送机器人，其被配置为将对准器装载到装载区域的参考位置上并将视觉传感器定位在静电卡盘上方；以及控制器，其被配置为基于从视觉传感器发送的测量数据重置参考位置并使分离距离相等。
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