公开(公告)号：CN1645549A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN200510004015.6

申请日：2005-01-06

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 尹英智 ,  全忠森 ,  全相文

IPC: H01J37/26 ,  H01L21/66 ,  G01R31/307

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G01R31/307 ,  H01J1/3042 ,  H01J37/073 ,  H01J2201/30469 ,  H01J2237/0635 ,  H01J2237/2594

Abstract: 电子束发生器具有宽区域与定向射束生成能力。发生器包括以相互间隔和对置的关系设置的阳极电极和阴极电极。提供簇形碳纳米管阵列以支持宽区域与定向射束生成。簇形纳米管阵列在阳极电极和阴极电极之间伸展。纳米管阵列在其上也有在与阴极电极的主平面对置处伸展的宽区域发射面。簇形纳米管阵列被配置成其中的纳米管为电子从阴极电极通过发射面流向阳极电极提供导电通道。