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发明公开
化学液体供应装置和具有其的半导体处理装置无效

公开(公告)号：CN111223792A

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201910583940.0

申请日：2019-07-01

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 丁大声 , 苏相允 , 宋钟民 , 姜泯浩

IPC: H01L21/67 , H01L21/02

Abstract: 提供了一种化学液体供应装置和半导体处理装置。在半导体制造工艺期间向处理室供应化学液体的化学液体供应装置可以包括：化学液体供应管，化学液体在其中流动，并且化学液体供应管的通过其喷射化学液体的喷射端延伸到处理室中；设置在化学液体供应管外部的外部电极；以及配置为向外部电极施加电力的供电模块。

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