公开(公告)号：CN119482989A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202410845257.0

申请日：2024-06-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 印率希 ,  李在燮

IPC: H02J50/12 ,  H02J50/20 ,  H03H7/38

Abstract: 提供了用于阻抗匹配的电子装置及其运行方法。所述电子装置包括：匹配电路，其根据多个开关的连接状态具有不同的匹配阻抗值，并且被配置为通过对输入电力信号进行阻抗匹配来输出匹配电力信号；电力转换电路，其被配置为将匹配电力信号转换为输出电力信号；以及控制器，其被配置为通过向多个开关发送用于调整多个开关的连接状态的开关信号来设置匹配电路的匹配阻抗值，其中，控制器还被配置为：从电力转换电路接收输出电力信号，同时改变匹配阻抗值；基于接收到的多个输出电力信号来选择最佳匹配阻抗值；并且将最佳匹配阻抗值设置为匹配阻抗值。

公开(公告)号：CN119108252A

公开(公告)日：2024-12-10

申请号：CN202410660903.6

申请日：2024-05-27

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 高慈远 ,  李钟和 ,  全兑祚 ,  郑胤松 ,  李在燮 ,  印率希

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

Abstract: 一种传感器设备包括：第一基板；第一基板上的第二基板；多个检测单元，在第一基板和第二基板之间并且被配置为从在第二基板上方的空间中形成的等离子体收集检测信息；控制器，被配置为基于由多个检测单元收集的检测信息生成表示等离子体的特性的特性数据；以及电源单元，包括射频(RF)能量采集器，该能量采集器被配置为从用于形成等离子体的RF电力产生用于多个检测单元和控制器中的至少一个的操作的电力。