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公开(公告)号：CN1899707A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610105579.3
申请日：2006-07-17
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H01L21/67253 , G03F7/162 , H01L21/6708 , Y10S134/902
Abstract: 适用于光学涂布器装置使用的化学溶液分散设备。该设备包括：喷嘴，适于将化学溶液喷洒到晶片上、压力传感器，与喷嘴相关联，并且适于感应喷洒压力并生成对应于所感应的喷洒压力的压力值、以及控制器，适于接收压力值，将所接收的压力值与预设阈值压力值做比较，并且当所接收的压力值超过预设阀值压力值时生成互锁信号。
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