公开(公告)号：CN109772783B

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN201810803238.6

申请日：2018-07-20

Applicant: 三星显示有限公司 ,  新动力等离子体株式会社

Inventor： 姜胜培 ,  郑钟铉 ,  梁熙星 ,  申正植 ,  李国焕 ,  李祯彬

IPC: B08B3/02 ,  B08B13/00

Abstract: 蒸汽清洗装置包括：蒸气生成器，用于生成饱和蒸气；过热器，通过对所述饱和蒸气进行过热而生成过热蒸气；第一阀，位于所述蒸气生成器与所述过热器之间，用于调节向所述过热器注入的所述饱和蒸气的量；喷嘴部，被连接到所述过热器；以及第二阀，位于所述蒸气生成器与所述喷嘴部之间，用于调节向所述喷嘴部供给的所述饱和蒸气的量，所述喷嘴部喷射所述饱和蒸气和所述过热蒸气中的至少一种蒸气。

公开(公告)号：CN109772783A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201810803238.6

申请日：2018-07-20

Applicant: 三星显示有限公司 ,  新动力等离子体株式会社

Inventor： 姜胜培 ,  郑钟铉 ,  梁熙星 ,  申正植 ,  李国焕 ,  李祯彬

IPC: B08B3/02 ,  B08B13/00

Abstract: 蒸汽清洗装置包括：蒸气生成器，用于生成饱和蒸气；过热器，通过对所述饱和蒸气进行过热而生成过热蒸气；第一阀，位于所述蒸气生成器与所述过热器之间，用于调节向所述过热器注入的所述饱和蒸气的量；喷嘴部，被连接到所述过热器；以及第二阀，位于所述蒸气生成器与所述喷嘴部之间，用于调节向所述喷嘴部供给的所述饱和蒸气的量，所述喷嘴部喷射所述饱和蒸气和所述过热蒸气中的至少一种蒸气。