公开(公告)号：CN114121588A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202110964632.X

申请日：2021-08-20

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 郑秀泳 ,  金庆勋 ,  金容勋 ,  李忠爀 ,  郑星在

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  F04D19/04

Abstract: 公开一种基板处理装置及利用其的基板处理方法。基板处理装置包括：真空腔体；支承部，配置在所述真空腔体的内部，并支承被安装的基板；导流部，控制所述真空腔体内的气流；引导配管，与所述真空腔体连接而向外部引导所述真空腔体的内部的包括工序副产物和气体的异物质；泵，配置于所述引导配管而向外部排出所述异物质；以及异物反射部件，配置在所述导流部与所述引导配管的流入口之间，将所述气体和所述工序副产物因所述泵的螺旋桨被溅射的溅射异物反射到所述引导配管的流入口。由此，可以通过在导流部与引导配管的流入口之间配置异物反射部件，阻断因涡轮分子泵的螺旋桨引起的溅射异物从所述引导配管的流入口再次流入真空腔体的内部。

公开(公告)号：CN106896586A

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201610951886.7

申请日：2016-10-27

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 吴升禧 ,  金俊亨 ,  裵盛焕 ,  宋丞基 ,  李忠爀

IPC: G02F1/1337 ,  G02F1/1333

CPC classification number: G02F1/1339 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/133512 ,  G02F1/133514 ,  G02F1/1337 ,  G02F1/133723 ,  G02F1/13439 ,  G02F2001/133388 ,  G02F1/13378 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明涉及显示设备及其制造方法。一种显示设备，包括：第一基板，在该第一基板上限定显示区域以及在显示区域外部的非显示区域；以及坝状图案，该坝状图案布置在显示区域的至少一个侧边上、非显示区域中。该坝状图案包括第一坝状图案和第二坝状图案，该第一坝状图案限定在第一方向上纵向延伸的其第一主干部分以及从第一主干部分延伸的第一分支部分，该第二坝状图案限定其在第一方向上纵向延伸的第二主干部分以及从第二主干部分延伸的第二分支部分，该第二分支部分与第一分支部分隔开并且面对第一分支部分。

公开(公告)号：CN104646337A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201410652798.8

申请日：2014-11-17

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 赵町元 ,  李忠爀 ,  南俊 ,  姜声求 ,  金鹤 ,  白成九 ,  李景在

IPC: B08B3/02 ,  B08B13/00

CPC classification number: B08B3/022

Abstract: 本发明提供一种清洁基板的基板清洁设备。该基板清洁设备包括清洁腔、第一清洁喷嘴、盖构件、气流产生单元以及排气单元。主清洁腔具有清洁空间并包括侧壁，基板在清洁空间中被清洁，第一排气孔限定在侧壁中。第一清洁喷嘴设置在主清洁腔中以喷射第一清洁液。盖构件覆盖主清洁腔并具有其中限定第二排气孔的一侧。气流产生单元通过第一排气孔将空气供给到清洁空间中。排气单元被联接到盖构件的该一侧以通过第二排气孔抽吸并排放供给到清洁空间的空气。

公开(公告)号：CN113257710A

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202110155132.1

申请日：2021-02-04

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 郑秀泳 ,  金俊亨 ,  金桢穆 ,  李忠爀 ,  郑星在

IPC: H01L21/67 ,  H01L27/32

Abstract: 提供一种制造装置和制造方法。制造装置包括腔室和设置在腔室中的平台。平台包括：上表面，在该上表面上设置目标基板；与上表面相对的下表面；第一侧表面，在上表面与下表面之间在第一方向上延伸；以及第二侧表面，在上表面与下表面之间在垂直于第一方向的第二方向上延伸。第一侧表面形成为圆形，并且第一侧表面的至少一部分朝向平台的外侧凸出。

公开(公告)号：CN104043566B

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201310681276.6

申请日：2013-12-12

Applicant: 三星显示有限公司 ,  纳里技术有限公司

Inventor： 朴宰彻 ,  李忠爀 ,  宋大镐 ,  崔洛初 ,  鱼庆恩 ,  吴旻贞 ,  李民雨 ,  裵相钧

IPC: B05C9/14 ,  B05C11/10

CPC classification number: C23C16/00 ,  B05D1/60

Abstract: 本发明提供一种涂覆装置。该涂覆装置包括蒸发部、热分解部、沉积室、真空泵和排气管。沉积室包括上部分、面对上部分的下部分以及将下部分和上部分彼此连接的侧壁部分，该侧壁部分包括入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口。排气管包括连接到第一出口和第二出口的第一辅助管、连接到第三出口和第四出口的第二辅助管、连接到第一辅助管和第二辅助管的中间管、以及连接到中间管的主管。真空泵被配置为通过排气管从沉积室排出沉积材料的单体中的没有被沉积的部分。

公开(公告)号：CN104280948A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410277138.6

申请日：2014-06-19

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 蔡景泰 ,  李善旭 ,  李忠爀 ,  林泰佑 ,  赵敦瓒

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/1333

CPC classification number: G02F1/1341 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/133377 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/133514 ,  G02F1/134309 ,  G02F1/133351 ,  G02F2001/134318

Abstract: 本发明提供了一种显示装置及其制造方法。所述显示装置包括：基板，包括多个像素区；薄膜晶体管，设置在基板上；第一绝缘层，设置在薄膜晶体管上；像素电极，与薄膜晶体管连接并且设置在第一绝缘层上；公共电极，设置在像素电极上并且通过微腔与像素电极分隔；第二绝缘层，设置在公共电极上；顶层，设置在第二绝缘层上，顶层的厚度是大约4μm至大约50μm；注入孔，穿过公共电极、第二绝缘层和顶层，注入孔暴露微腔的一部分；液晶层，填充微腔；覆盖件，在顶层上并且延伸到注入孔中，覆盖件密封微腔。

公开(公告)号：CN115224074A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210006733.0

申请日：2022-01-05

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 郑秀泳 ,  金成俊 ,  李忠爀 ,  郑星在

IPC: H01L27/32

Abstract: 显示装置包括：基板；第一电极，配置于基板上；以及像素界定膜，包括：第一区域，在基板上使第一电极暴露地配置，并具有第一高度；以及第二区域，与第一区域连接，并具有比第一高度高的第二高度。

公开(公告)号：CN104043566A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201310681276.6

申请日：2013-12-12

Applicant: 三星显示有限公司 ,  纳里技术有限公司

Inventor： 朴宰彻 ,  李忠爀 ,  宋大镐 ,  崔洛初 ,  鱼庆恩 ,  吴旻贞 ,  李民雨 ,  裵相钧

IPC: B05C9/14 ,  B05C11/10

CPC classification number: C23C16/00 ,  B05D1/60

Abstract: 本发明提供一种涂覆装置。该涂覆装置包括蒸发部、热分解部、沉积室、真空泵和排气管。沉积室包括上部分、面对上部分的下部分以及将下部分和上部分彼此连接的侧壁部分，该侧壁部分包括入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口。排气管包括连接到第一出口和第二出口的第一辅助管、连接到第三出口和第四出口的第二辅助管、连接到第一辅助管和第二辅助管的中间管、以及连接到中间管的主管。真空泵被配置为通过排气管从沉积室排出沉积材料的单体中的没有被沉积的部分。