公开(公告)号：CN1840602B

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN200610058484.0

申请日：2006-03-28

Applicant: 三星康宁精密素材株式会社

Inventor： 赵允珠 ,  李鳞渊 ,  田勋秀 ,  洪德泳 ,  金兑映 ,  李相益 ,  朴恩敬

IPC: C09K3/14

CPC classification number: C09K3/1463 ,  C09G1/02 ,  H01L21/31053

Abstract: 本发明涉及一种用于制备抛光浆料的改进方法，该方法包括：将抛光颗粒和阴离子聚合酸分散在水中；然后按抛光颗粒的重量份数为100份计将以重量份数为0.1到8份的量的碱性材料添加到所得分散体系中。通过本发明方法得到的抛光浆料显示出了良好的分散稳定性和非-Prestonian抛光性能，这能有益地用在各种精密电子器件的化学机械抛光中。