公开(公告)号：CN109392311B

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN201780031950.2

申请日：2017-05-29

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  熊谷彰记

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

Abstract: 本发明的研磨液含有高锰酸离子、弱酸及其可溶性盐。研磨开始前的pH在25℃下优选为0.5～6.0。在25℃下向将pH调整为3.0～4.0的上述研磨液100mL中添加浓度为0.1mol/L的氢氧化钠的水溶液时使pH上升0.5所需要的氢氧化钠的水溶液的添加量优选为0.1mL～100mL。弱酸优选为醋酸。

公开(公告)号：CN110072956A

公开(公告)日：2019-07-30

申请号：CN201780069668.3

申请日：2017-08-15

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  堀内干正 ,  熊谷彰记

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/306 ,  B24B37/00

Abstract: 本发明的研磨液包含氧化锰的磨粒、高锰酸根离子和纤维素系表面活性剂或阳离子表面活性剂，pH为5～11。上述纤维素系表面活性剂优选为羧甲基纤维素或其衍生物。所述阳离子表面活性剂还优选具有季铵离子部位。上述纤维素系表面活性剂或上述阳离子表面活性剂的浓度还优选相对于上述研磨液的总量为0.01质量％～1.0质量％。

公开(公告)号：CN109392311A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201780031950.2

申请日：2017-05-29

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  熊谷彰记

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: B24B37/00 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的研磨液含有高锰酸离子、弱酸及其可溶性盐。研磨开始前的pH在25℃下优选为0.5～6.0。在25℃下向将pH调整为3.0～4.0的上述研磨液100mL中添加浓度为0.1mol/L的氢氧化钠的水溶液时使pH上升0.5所需要的氢氧化钠的水溶液的添加量优选为0.1mL～100mL。弱酸优选为醋酸。

公开(公告)号：CN110072956B

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN201780069668.3

申请日：2017-08-15

Applicant: 三井金属矿业株式会社

Inventor： 松尾贤 ,  松山雅之 ,  堀内干正 ,  熊谷彰记

IPC: C09G1/02 ,  C09K3/14 ,  H01L21/306 ,  B24B37/00

Abstract: 本发明的研磨液包含氧化锰的磨粒、高锰酸根离子和纤维素系表面活性剂或阳离子表面活性剂，pH为5～11。上述纤维素系表面活性剂优选为羧甲基纤维素或其衍生物。所述阳离子表面活性剂还优选具有季铵离子部位。上述纤维素系表面活性剂或上述阳离子表面活性剂的浓度还优选相对于上述研磨液的总量为0.01质量％～1.0质量％。