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公开(公告)号：CN102858493A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201080066082.X
申请日：2010-11-22
Applicant: 三井金属矿业株式会社
IPC: B24B37/00 , C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09K3/1463 , B24B37/044 , C09G1/02 , H01L21/02024 , H01L29/1608
Abstract: 本发明提供能够高效且高表面精度地对难以研磨处理的碳化硅进行研磨处理的研磨技术。本发明涉及一种用于研磨基材的研磨浆料，其特征在于，研磨粒子以氧化锰为主成分，研磨粒子的含量相对于研磨浆料不足10重量%。本发明的研磨浆料优选pH为7以上，特别优选使用二氧化锰作为研磨粒子。此外，本发明的研磨浆料是适用于碳化硅基材的研磨浆料。
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