公开(公告)号：CN115605811A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202180034681.1

申请日：2021-05-12

Applicant: ASML荷兰有限公司(NL)

Inventor： C·巴蒂斯塔基斯 ,  M·皮萨伦科 ,  B·A·奥雅曾·里维拉 ,  A·斯拉克特

IPC: G03F7/20 ,  G06T7/00 ,  G01N21/956

Abstract: 本文描述了用于训练机器学习模型来确定衬底上印刷的图案的多个特征的误差贡献源的方法。方法包括：获取具有多个数据集的训练数据，其中每个数据集具有误差贡献值，误差贡献值表示来自多个源中的一个的对特征的误差贡献，并且其中每个数据集与实际分类相关联，该实际分类标识对应数据集的误差贡献源；以及基于训练数据，对机器学习模型进行训练来预测数据集中的参考数据集的分类，使得成本函数被减小，该成本函数确定参考数据集的预测分类与实际分类之间的差。

公开(公告)号：CN115598920A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211277895.4

申请日：2016-12-02

Applicant: ASML荷兰有限公司(NL) ,  ASML控股股份有限公司(NL)

Inventor： D·F·弗莱斯 ,  E·A·阿贝格 ,  A·本迪克塞 ,  德克·S·G·布龙 ,  P·K·果维欧 ,  保罗·詹森 ,  M·A·纳萨莱维奇 ,  A·W·诺滕博姆 ,  玛丽亚·皮特 ,  M·A·范德柯克霍夫 ,  威廉·琼·范德赞德 ,  彼得-詹·范兹沃勒 ,  J·P·M·B·沃缪伦 ,  W-P·福尔蒂森 ,  J·N·威利

IPC: G03F1/22 ,  G03F1/62 ,  G03F1/64 ,  G03F7/20

Abstract: 一种适合与用于光刻设备的图案形成装置一起使用的表膜。所述表膜包括至少一个破裂区域，配置成在光刻设备中的正常使用期间在表膜的剩余区域破裂之前优先破裂。至少一个破裂区域包括表膜的在与表膜的周围区域相比时具有减小的厚度的区域。