-
公开(公告)号：CN101842668B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200880105140.8
申请日：2008-06-25
Applicant: 集成感应系统公司
CPC classification number: G01F1/8472 , G01F1/8445
Abstract: 一种用于评定流体的性质的微流体装置。该装置利用能够具有用于提升装置的某些性能和/或结构方面的不同的振动模式的微管(10)。微管(10)由基座(12)支承，以便与基底表面(52)分隔开。微管(10)具有包围基座(12)的周边部分(14)、自基座(12)支承周边部分(14)的臂(16)，以及至少具有第一微通道部分和第二微通道部分(18)的连续的内部微通道(18)。各个微通道(18)限定单独的流动路线，且各个流动路线起始于基座(12)处，延续通过周边部分(14)的一部分，并且返回到基座(12)。第一微通道部分和第二微通道部分(18)分别流体地连接到基座(12)内的入口端口和出口端口(26，32)上。微管(10)的振动由驱动元件和感测元件(60A-B，62A-B)诱发及感测。流体性质根据感测元件(62A-B)的输出来确定。
-
公开(公告)号：CN101970338B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200980105496.6
申请日：2009-02-11
Applicant: 集成感应系统公司
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)装置(10)和用于操作该装置(10)以确定流体的性质的方法。该装置(10)具有管(14)，管(14)从基部(16)延伸且与衬底表面(18)间隔开，以在垂直于表面(18)的平面中进行振动运动。管(14)限定了连续内部通路(20)，其具有流体地连接到基部(16)上的流体入口(22)和流体出口(24)。与基部(16)相对地附连到管(14)的远端部分(14C)上的悬臂构件(30)被构造成以便相对于远端部分(14C)进行振动运动。可操作以在管(14)和悬臂构件(30)中引起振动运动的驱动电极(26)设置于衬底表面(18)上。感测电极(28)设置于衬底表面(18)上，以用于感测在振动时管(14)的科里奥利诱导的偏转，并生成输出，可根据该输出来确定流动通过管(14)的流体的性质。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101970338A
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200980105496.6
申请日：2009-02-11
Applicant: 集成感应系统公司
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)装置(10)和用于操作该装置(10)以确定流体的性质的方法。该装置(10)具有管(14)，管(14)从基部(16)延伸且与衬底表面(18)间隔开，以在垂直于表面(18)的平面中进行振动运动。管(14)限定了连续内部通路(20)，其具有流体地连接到基部(16)上的流体入口(22)和流体出口(24)。与基部(16)相对地附连到管(14)的远端部分(14C)上的悬臂构件(30)被构造成以便相对于远端部分(14C)进行振动运动。可操作以在管(14)和悬臂构件(30)中引起振动运动的驱动电极(26)设置于衬底表面(18)上。感测电极(28)设置于衬底表面(18)上，以用于感测在振动时管(14)的科里奥利诱导的偏转，并生成输出，可根据该输出来确定流动通过管(14)的流体的性质。
-
公开(公告)号：CN101952193A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200980104802.4
申请日：2009-02-11
Applicant: 集成感应系统公司
CPC classification number: G01F1/8477 , B01L3/5027 , G01F1/8409 , G01F1/8427 , G01F1/8445 , G01F1/8472 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/02818 , G01N2291/02836 , G01N2291/0422 , G01N2291/0426 , Y10T29/49002
Abstract: 一种微机电系统MEMS装置和用于操作该装置以确定流体的至少一个特性的方法。该装置包括位于基底上的基部和从该基部延伸并与基底的表面分隔开的管结构。管结构包括：至少一个管部分，更优选地，基本位于一个平面上的至少一对平行的管部分；被限定为至少部分地在所述平行的管部分内的至少一个连续的内部通路；和被流体连接到所述基部的内部通路的入口和出口。驱动元件可操作，以在管结构的平面中引起该管结构的振动运动，并且在管部分中引起共振的振动运动。感测元件在管结构被采用驱动元件振动时对管部分的偏斜进行感测。
-
公开(公告)号：CN101889204A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200880120678.6
申请日：2008-12-08
Applicant: 集成感应系统公司
CPC classification number: G01F1/8445 , G01N9/002
Abstract: 一种用于感测流动流体性质的流体传感系统和方法。该系统和方法需要微流体装置(10)，其具有支承在基底(12)上方的微加工管(14)、位于管(14)的独立式部分(16)内的管通路(20)、与管通路(20)和微流体装置(10)的外部成流体连通的入口(36a)和出口(36b)、用于使管(14)的独立式部分(16)振动的元件(22)，以及元件(24)，其用于感测管(14)独立式部分(16)的运动，以便测量独立式部分(16)的振动频率和/或偏转，且由此产生对应于流过管通路(20)的流体的性质的至少一个输出。该系统和方法还需要将微流体装置(10)安放在流动流体中以便部分流体进入管通路(20)，以及对装置(10)的输出进行处理用以计算流体的性质。
-
公开(公告)号：CN101952193B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN200980104802.4
申请日：2009-02-11
Applicant: 集成感应系统公司
CPC classification number: G01F1/8477 , B01L3/5027 , G01F1/8409 , G01F1/8427 , G01F1/8445 , G01F1/8472 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/02818 , G01N2291/02836 , G01N2291/0422 , G01N2291/0426 , Y10T29/49002
Abstract: 一种微机电系统MEMS装置和用于操作该装置以确定流体的至少一个特性的方法。该装置包括位于基底上的基部和从该基部延伸并与基底的表面分隔开的管结构。管结构包括：至少一个管部分，更优选地，基本位于一个平面上的至少一对平行的管部分；被限定为至少部分地在所述平行的管部分内的至少一个连续的内部通路；和被流体连接到所述基部的内部通路的入口和出口。驱动元件可操作，以在管结构的平面中引起该管结构的振动运动，并且在管部分中引起共振的振动运动。感测元件在管结构被采用驱动元件振动时对管部分的偏斜进行感测。
-
公开(公告)号：CN101842668A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200880105140.8
申请日：2008-06-25
Applicant: 集成感应系统公司
CPC classification number: G01F1/8472 , G01F1/8445
Abstract: 一种用于评定流体的性质的微流体装置。该装置利用能够具有用于提升装置的某些性能和/或结构方面的不同的振动模式的微管(10)。微管(10)由基座(12)支承，以便与基底表面(52)分隔开。微管(10)具有包围基座(12)的周边部分(14)、自基座(12)支承周边部分(14)的臂(16)，以及至少具有第一微通道部分和第二微通道部分(18)的连续的内部微通道(18)。各个微通道(18)限定单独的流动路线，且各个流动路线起始于基座(12)处，延续通过周边部分(14)的一部分，并且返回到基座(12)。第一微通道部分和第二微通道部分(18)分别流体地连接到基座(12)内的入口端口和出口端口(26，32)上。微管(10)的振动由驱动元件和感测元件(60A-B，62A-B)诱发及感测。流体性质根据感测元件(62A-B)的输出来确定。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.028 seconds)
