厚度测定装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104160238A

    公开(公告)日:2014-11-19

    申请号:CN201380011424.1

    申请日:2013-01-24

    申请人: 野方铁郎

    发明人: 野方铁郎

    IPC分类号: G01B7/06 G01B21/08

    摘要: 即便在片状被测定物的表面附着有液体的状态下也高精度地测定厚度。包括:夹住片状被测定物(P)的两面的测定头(12);以及在被测定物的宽度方向上移动测定头(12)的测定头移动单元(14),测定头(12)具有:以抵接在被测定物的一面侧的状态进行配置的第1测定头部(120);以及夹着被测定物与测定头部(120)相对、以抵接在被测定物的另一面侧的状态进行配置的第2测定头部(121),各测定头部(120、121)以规定的按压状态夹持被测定物,一边维持该状态,一边沿着被测定物的宽度方向往返移动。测定头部(12)具有测定第1、第2测定头部(120、121)间距离的涡电流传感器(121b)。