-
公开(公告)号：CN115377252B
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211298705.7
申请日：2022-10-24
IPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02 , H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/054 , C23C16/24
摘要： 本发明涉及太阳能电池技术领域，具体公开一种抑制PECVD法生长多晶硅表面爆膜的方法。所述方法包括以下步骤：将硅片进行微制绒工序，形成微制绒表面；采用PECVD法在所述微制绒表面上依次沉积隧穿氧化层和多晶硅层。采用本发明提供的方法能够在保证不降低TOPCon太阳能电池转化效率的前提下，还能避免采用PECVD法沉积多晶硅层发生爆膜的问题，方法简单，只是在常规抛光的过程中，添加微制绒工序，工艺步骤简单，无需增加新工艺和新设备，无其他成本增加，有利于工业化生产，对提高TOPCon太阳能电池的成品率具有重要意义。
-
公开(公告)号：CN218299809U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222262675.6
申请日：2022-08-26
申请人： 英利能源发展有限公司(CN) , 英利能源发展(天津)有限公司(CN)
IPC分类号： H01L31/048
摘要： 本实用新型属于光伏板生产设备领域，尤其涉及一种太阳能电池组件层压机，包括送料支撑架，送料支撑架上固定连接有层压机壳体，层压机壳体内连接有下压壳体与上压壳体，下压壳体固定连接在层压机壳体内侧底部，上压壳体竖向滑动连接在层压机壳体内侧顶部，上压壳体通过液压缸驱动，下压壳体与上压壳体内分别设置有分段层压机构，太阳能电池组件位于下压壳体与上压壳体之间，下压壳体与上压壳体之间设置有密封组件，太阳能电池组件位于密封组件内侧，两组分段层压机构与太阳能电池组件的顶面和底面分别对应设置。本申请能够在分段层压和抽真空的共同作用下，有效降低气泡产生的数量。
-
公开(公告)号：CN218299770U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222597232.2
申请日：2022-09-29
申请人： 英利能源发展有限公司(CN) , 英利能源发展(天津)有限公司(CN)
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本实用新型提供了一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，属于半导体器件技术领域。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，包括舟体，舟体的上端面设置有插片槽组，多组插片槽组以舟体的轴线为圆心呈圆周分布，插片槽组包括多组适于硅片插入的插片槽，插片槽贯穿舟体的上端面与下端面设置，插片槽平行于舟体的轴线设置，同一插片槽组内的插片槽相互平行设置，插片槽的宽度大于硅片的厚度。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，硅片插入插片槽中，硅片的背面贴紧插片槽远离舟体中心一侧的舟壁上，转动载片舟，硅片在离心力的作用下紧贴在载片舟的舟壁上，硅片背面不会与气流接触，避免绕扩或绕镀的发生。
-
公开(公告)号：CN218291110U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222598336.5
申请日：2022-09-29
申请人： 英利能源发展有限公司(CN) , 英利能源发展(天津)有限公司(CN)
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , C30B31/10 , C30B31/14 , C30B29/06 , H01L31/18
摘要： 本实用新型提供了一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，属于半导体器件技术领域。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，包括炉管主体、旋转组件以及驱动件，炉管主体内部设置有反应腔，炉管主体的底部设有进气口，炉管主体的顶部设有出气口；旋转组件包括转轴和底托，转轴与炉管主体转动连接，转轴沿竖直方向贯穿炉管主体的底部并延伸至反应腔内部，底托固定安装在转轴的顶部，底托用于支撑固定载片舟；驱动件用于驱动转轴转动。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的沉积炉，可用于硼扩散或ALD工序，载片舟设置在底托上，转轴转动，利用离心力将硅片紧贴在载片舟的舟壁上，避免绕扩或绕镀的发生，提升了生产效率。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.032 秒)
