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公开(公告)号：CN118942995A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411007383.5
申请日：2024-07-25
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 本发明公开一种阻抗匹配方法、装置及等离子体产生装置，涉及阻抗匹配技术领域。其中，阻抗匹配方法用于控制可调阻抗匹配电路。所述方法包括：获取可调阻抗匹配电路的初始参数与接入信号的信号参数；根据所述初始参数与所述信号参数，确定所述可调阻抗匹配电路的匹配函数；基于预设匹配模型和所述匹配函数，确定最优匹配参数；根据所述最优匹配参数，调整所述可调阻抗匹配电路的参数值。本发明旨在提高阻抗匹配方法的泛用性与准确性。
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公开(公告)号：CN118555725A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410835839.0
申请日：2024-06-26
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种扩散组件和等离子体发生装置，涉及等离子体处理技术领域，其中，扩散组件包括壳体，所述壳体具有扩散通道，所述扩散通道具有进气口和出气口；扩散部，所述扩散部包括第一扩散板和第二扩散板，所述第一扩散板和所述第二扩散板间隔设于所述扩散通道，并沿所述进气口朝向所述出气口方向依次设置；可调组件，所述可调组件连接所述第一扩散板和/或所述第二扩散板，所述可调组件用于调节所述第一扩散板与所述第二扩散板之间的距离；本发明提供的技术方案的技术效果为可调组件驱动第一扩散板和第二扩散板其中一者靠近或远离另一者，从而调节第一扩散板和第二扩散板之间的距离，进而调节工艺气体或等离子体的输送速度。
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公开(公告)号：CN117997339B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410153808.7
申请日：2024-02-04
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种相位同步装置和方法、射频电源及等离子体设备；属于射频电源技术领域，解决射频电源主机和从机的相位同步问题，相位同步装置包括腔体信号反馈回路用于建立从本机射频电源所供电的真空腔体到移相单元的反馈通道；通过反馈通道将从真空腔体采集到的频率信息反馈到移相单元中对本机时钟信号进行移相处理，输出控制信息去控制本机射频电源的输出信号相位。本发明动态抵消末级功放所带来的相位涨落，实现了射频电源主机和从机的相位同步。
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公开(公告)号：CN118400856A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410835853.0
申请日：2024-06-26
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种等离子体产生装置和等离子体处理设备，涉及等离子体技术领域，其中，气体扩散模块，包括：第一壳体，所述第一壳体具有第一进气口、第一出气口以及扩散腔；第一扩散板，所述第一扩散板上设有多个第一扩散孔；第二扩散板，所述第二扩散板上设有多个第二扩散孔；所述第一扩散板和所述第二扩散板沿所述第一进气口至所述第一出气口方向依次设置在所述扩散腔内；本发明提供的气体扩散模块能够提高工艺气体的均匀性。
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公开(公告)号：CN118399742A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410724249.0
申请日：2024-02-18
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要： 本申请涉及等离子体刻蚀电路及装置，其中，等离子体刻蚀电路包括：电源电路，所述电源电路用于产生高频电磁场；极性变换电路，所述极性变换电路具有输入端、第一输出端和第二输出端，所述极性变换电路的输入端与所述电源的输出端连接，所述极性变换电路的第一输出端与第一电极电连接，所述极性变换电路的第二输出端与第二电极电连接，所述极性变换电路用于周期性变换输出至所述第一电极和第二电极的电源极性。本发明技术方案通过电源极性的周期性变换，以使刻蚀腔室中的等离子体的扩散方向从单向变为双向，从而使蚀刻效率更高，且刻蚀腔室内的各电路板刻蚀均匀，蚀刻效果较好。
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公开(公告)号：CN117200721B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202311250467.7
申请日：2023-09-22
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及电工电子技术领域，公开了一种信号放大电路及信号放大控制方法，该信号放大电路包括：射频功率放大器和校正补偿电路；射频功率放大器的第一端与输入信号连接，射频功率放大器的第二端与偏置电压连接，射频功率放大器的第三端与校正补偿电路的第一端连接；校正补偿电路的第二端与负载连接；射频功率放大器，用于利用偏置电压放大输入信号，将放大后的输入信号发送至校正补偿电路；校正补偿电路，用于校正输入信号，并将校正后的输入信号输出至负载。使用偏置电压放大输入信号，将输入的信号放大为预设的倍率。将放大后的输入信号发送至校正补偿电路，通过校正补偿电路校正输入信号然后输出至负载，从而降低了信号放大电路的功率损失。
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公开(公告)号：CN117559779B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202311567697.6
申请日：2023-11-23
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
IPC分类号： H02M1/088 , H02M7/5381 , H02M1/12
摘要： 本发明公开了一种射频电源的推挽式并联驱动输出系统，属于射频技术领域，解决了现有技术缺乏定频大功率的射频功率输出设计方案的问题。该系统包括：多组D类推挽式隔离逆变驱动电路、平衡电阻和一阶LC滤波器，以及，射频稳定器；其中，每组D类推挽式隔离逆变驱动电路的信号输出端分别分别连接各自平衡电阻的一端，所有平衡电阻的另一端与一个共同的中心点相连，形成星型结构；每组D类推挽式隔离逆变驱动电路的信号输出端还分别连接相应一阶LC滤波器的输入端，所有一阶LC滤波器的输出端相连形成汇流输出端口，汇流输出端口与射频稳定器相连；将所述汇流输出端口作为所述系统的射频信号输出端。
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公开(公告)号：CN117833916B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410226582.9
申请日：2024-02-29
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及信号调理技术领域，尤其涉及一种信号调理电路、装置及射频电源，该电路包括：开关控制组件以及信号放大组件；开关控制组件的输入端与电源的输出端连接，开关控制组件的输出端与信号放大组件的输入端连接；开关控制组件在接收到上拉指令时，将电源输出的电压输出至信号放大组件的正向输入端；信号放大组件对正向输入端接收到的电压进行上拉；开关控制组件，还用于在接收到下拉指令时将电源输出的电压输出至信号放大组件的反向输入端；信号放大组件，还用于对反向输入端接收到的电压进行下拉。本发明通过信号放大组件对正向输入端接收到的电压进行上拉以及对反向输入端接收到的电压进行下拉，从而根据需求对信号进行上拉或下拉。
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公开(公告)号：CN117879536B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410270870.4
申请日：2024-03-11
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
IPC分类号： H03H11/28 , H03K17/687 , H03K5/156 , H03K7/08
摘要： 本发明涉及阻抗匹配技术领域，并公开了一种阻抗匹配方法、装置、电路及系统，该方法包括：获取采样模块对负载采样得到的采样电信号；通过对采样电信号计算，获取与负载阻抗相匹配的控制参数；根据与负载阻抗相匹配的控制参数，确定阻抗匹配模块的电感参数；通过阻抗匹配模块的电感参数计算所需调整的占空比；通过所需调整的占空比对阻抗匹配模块的开关元件的占空比进行调整，与负载阻抗匹配，相比普通的负载阻抗匹配，通过增加额外的开关器件，使得本发明所提出的阻抗匹配方法具备高操作性。增加的开关管实现虚拟电感的作用，通过简单的控制PWM波形的占空比即可调节虚拟电感的感值，满足了负载变化时高阻抗匹配速度的优点。
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公开(公告)号：CN118039442A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410193853.5
申请日：2023-12-04
申请人： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
IPC分类号： H01J37/32 , H02M1/08 , H02M7/5387 , H02M9/02
摘要： 本发明涉及一种射频电源的多脉冲驱动方法，属于射频电源技术领域，解决了现有射频电源在脉冲切换期间稳定性差的问题。一种射频电源的多脉冲驱动方法，所述驱动方法包括：在射频电源供电前，设置参考信号，并根据参考信号确定脉冲信号的总级数、以及各级脉冲信号的输出功率及频率；其中，各级脉冲信号的输出功率及频率不同；在射频电源供电时，基于参考信号，利用多脉冲发生器产生设置的各级脉冲信号；利用切换器对多脉冲发生器产生的多级脉冲信号进行切换，并输出到逆变器对射频电源进行驱动，切换射频电源的输出功率及频率。
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