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公开(公告)号：CN107430334A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680017372.2
申请日：2016-01-22
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
CPC分类号： G03F7/023 , C08G69/32 , C08G71/04 , C08G73/22 , C08K5/03 , C08K5/42 , C08L75/04 , C09D179/04 , G03F7/004
摘要： 一种正型感光性树脂组合物，其包含(a)聚苯并唑前体、(b)交联剂、(c)重氮萘醌化合物、(d)碘 化合物以及(e)溶剂。
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公开(公告)号：CN106462065A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580008033.3
申请日：2015-01-28
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
IPC分类号： G03F7/027 , G03F7/031 , H01L21/027
摘要： 一种树脂组合物，其包含：(a)具有下述式具有乙烯性不饱和基团和异氰脲酸环结构的光聚合性化合物。其中，式(1)中，R1为四价有机基团，R2为二价有机基团。R3和R4各自独立地为氢原子、碳原子数1～20的烷基、碳原子数3～20的环烷基、或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体以及(b)
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公开(公告)号：CN104870565A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380067191.7
申请日：2013-12-13
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
IPC分类号： C08L79/08 , C08F290/14 , C08G73/10 , C08K5/32 , C08K5/5455 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/075
CPC分类号： C08F290/14 , C08G73/1007 , C08G73/1039 , C08G73/1067 , C08K5/33 , C08K5/5442 , C08K5/5455 , C09D179/08 , G03F7/0387 , G03F7/0388 , G03F7/0755 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/32 , G03F7/40 , Y10T428/24479 , C08L79/08 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/075
摘要： 一种含有下述(a)和(b)成分的树脂组合物。(a)具有下述通式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体，(b)下述通式(2)所表示的化合物(式中，R1为4价有机基团、R2为2价有机基团、R3和R4各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或者具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。R5表示碳原子数1～4的烷基，R6各自独立地为羟基或者碳原子数1～4的烷基，a为0～3的整数，n为1～6的整数，R7为通式(3)或者(4)中的任一基团。在式(3)或者(4)中，R8为碳原子数1～10的烷基、或者来源于羟基烷基硅烷的1价有机基团，R9为碳原子数1～10的烷基、来源于氨基烷基硅烷的1价有机基团或者杂环基。R8和R9分别可以具有取代基)。
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公开(公告)号：CN104870523A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380066870.2
申请日：2013-12-19
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
IPC分类号： C08G73/10 , C08F290/14 , G03F7/027 , G03F7/031 , H01L21/027
CPC分类号： C08G73/1007 , C08F290/14 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1053 , C08G73/1067 , C08G73/1071 , C08G73/16 , C08K5/33 , C09D179/08 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/0387 , G03F7/0388 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/32 , G03F7/40 , H01L21/02118 , H01L21/311 , C08K5/3475 , C08K5/3472
摘要： 一种聚酰亚胺前体，其相对于全部结构单元具有大于或等于50mol％的下述通式(1)所表示的结构单元。通式(1)中，A为下述通式(2a)～(2c)所表示的4价有机基团中的任一个，B为下述通式(3)所表示的2价有机基团。
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公开(公告)号：CN102713756A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201180006658.8
申请日：2011-01-19
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
IPC分类号： G03F7/085 , C08G69/02 , C08K5/13 , C08K5/1515 , C08K5/1525 , C08K5/17 , C08K5/3445 , C08K5/41 , C08K5/5419 , C08K5/56 , C08L77/00 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/02118 , C08K5/0091 , C08L77/06 , G03F7/0045 , G03F7/0233 , G03F7/085 , G03F7/40 , C08L77/00
摘要： 一种感光性聚合物组合物，其含有（a）可溶于碱性水溶液的聚合物、（b）通过光产生酸的化合物、（c1）具有三个同种的二齿配体的铝螯合物、（c2）具有三个两种或三种的二齿配体的铝螯合物而形成。
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公开(公告)号：CN101248520B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680030657.6
申请日：2006-08-22
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
IPC分类号： H01L21/56 , H01L21/312
CPC分类号： H01L23/3171 , H01L21/563 , H01L23/3128 , H01L2224/0554 , H01L2224/05548 , H01L2224/05573 , H01L2224/056 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/0102 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/15311 , H01L2924/00 , H01L2224/05599 , H01L2224/0555 , H01L2224/0556
摘要： 本发明提供一种半导体装置的制造方法，尤其是表面改性处理方法，该半导体装置具有多用于使用焊锡凸块或金凸块的倒装片连接的耐热性树脂膜和层叠在其上的环氧系树脂化合物，其中，所述半导体装置的制造方法用于改善在高温高湿下长期保持后的粘接性，并提高半导体装置的可靠性。本发明的一种半导体装置的制造方法，该半导体装置具有形成在半导体元件上的耐热性树脂膜和层叠在其上的环氧系树脂化合物层，所述半导体装置的制造方法的特征在于，使用含有氮、氨、肼中的至少一种的含氮原子气体，对层叠环氧系树脂化合物层的耐热性树脂膜的表面进行等离子处理。
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公开(公告)号：CN1902548A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200480040128.5
申请日：2004-12-16
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
IPC分类号： G03F7/037 , G03F7/039 , G03F7/004 , C08G69/26 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0226 , C08K5/03 , C08K5/13 , C08K5/138 , C08L77/06 , C08L77/10 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0233 , G03F7/039 , G03F7/40 , Y10T428/24521 , Y10T428/24612 , Y10T428/24802 , C08L77/00
摘要： 一种感光性聚合物组合物，含有(a)具有如通式(I)所示的重复单元的聚酰胺(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团，p表示重复单元数的整数)；(b)经光照产生酸的化合物；及(c)如通式(II)所示的化合物(式中，m及n各自分别为1或2的整数；R各自分别为氢、烷基或酰基：R1及R2各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。
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公开(公告)号：CN1860414A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200580001168.3
申请日：2005-03-11
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
IPC分类号： G03F7/023 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0233 , G03F7/0387 , H01L21/31144
摘要： 提供一种灵敏度、分辨率和粘接性均优良，而且即使在280℃以下进行的低温固化加工中使用，也能得到耐热性优良、吸水率低、形状良好的图案的正型感光性树脂组合物。正型感光性树脂组合物，包括(a)具有聚噁唑前体结构的碱水溶液可溶性聚酰胺，(b)邻醌二叠氮化合物，和(c)加热产生酸的热潜在性酸发生剂。此外其中也可以含有(d)具有酚性羟基的化合物，(e)溶剂。
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公开(公告)号：CN105829968B
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201480055550.1
申请日：2014-09-24
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种树脂组合物、由其形成的固化膜或者图案固化膜、使用其的固化膜的制造方法以及具有所述固化膜或者图案固化膜的电子部件，所述树脂组合物含有(a)具有下述通式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体、(b)下述通式(2)所表示的化合物和(c)通过活性光线照射产生自由基的化合物。(式(1)中，R1为四价有机基团，R2为二价有机基团，R3和R4各自独立地为氢原子、烷基、环烷基或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团。)(式(2)中，R5为氢原子或碳原子数1～4的烷基，R6为不含(甲基)丙烯酰基的一价有机基团。)
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公开(公告)号：CN110300767A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201880011925.2
申请日：2018-02-23
申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
摘要： 一种树脂组合物，其含有：(a)聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体；(d1)下述式(11)或(12)所表示的化合物；以及(d2)选自由下述式(13)所表示的化合物、下述式(14)所表示的化合物、下述式(15)所表示的化合物、和下述式(16)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物。
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