发明公开
- 专利标题： 感光性树脂组合物、图案制造方法及电子部件
- 专利标题（英）： Photosensitive polymer composition, process for producing pattern, and electronic part
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申请号： CN200480040128.5申请日： 2004-12-16
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公开(公告)号： CN1902548A公开(公告)日： 2007-01-24
- 发明人: 大江匡之 , 小松博 , 津丸佳子 , 川崎大 , 加藤幸治 , 上野巧
- 申请人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
- 当前专利权人： 日立化成杜邦微系统股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 朱丹
- 优先权： 006715/2004 2004.01.14 JP
- 国际申请： PCT/JP2004/018832 2004.12.16
- 国际公布： WO2005/069075 JA 2005.07.28
- 进入国家日期： 2006-07-10
- 主分类号： G03F7/037
- IPC分类号： G03F7/037 ; G03F7/039 ; G03F7/004 ; C08G69/26 ; H01L21/027
摘要：
一种感光性聚合物组合物，含有(a)具有如通式(I)所示的重复单元的聚酰胺(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团，p表示重复单元数的整数)；(b)经光照产生酸的化合物；及(c)如通式(II)所示的化合物(式中，m及n各自分别为1或2的整数；R各自分别为氢、烷基或酰基：R1及R2各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。
IPC分类:
