MEMS结构的制造方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106608614B

    公开(公告)日:2022-03-04

    申请号:CN201510686572.4

    申请日:2015-10-21

    Inventor: 万蔡辛 朱佳辉

    Abstract: 公开了一种MEMS结构的制造方法,包括:在基板的第一表面上形成第一牺牲层,基板还包括与第一表面相对的第二表面;在第一牺牲层上形成第一功能层,第一功能层具有相对的第一表面和第二表面且第一表面与第一牺牲层接触;在第一功能层的第二表面上形成第二牺牲层;在第二牺牲层上形成第二功能层;去除第二牺牲层和第二功能层的一部分,使得第二牺牲层和第二功能层的侧壁与第一功能层的表面形成台阶;形成覆盖台阶的保护层,所述保护层与台阶表面的间隙小于等于0.1微米;穿过第二功能层中的透孔去除第二牺牲层的一部分,使得第二功能层和第二牺牲层的剩余部分形成内部空间,第一功能层的第二表面暴露于内部空间;以及去除保护层。该方法在释放MEMS结构的步骤中利用保护层保护台阶。

    MEMS器件检测方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106872816B

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201510925570.6

    申请日:2015-12-14

    Inventor: 陈志翔 朱佳辉

    Abstract: 公开了一种MEMS器件检测方法,所述MEMS器件由膜片和背板形成,所述方法包括:向所述MEMS器件的膜片和背板施加以第一频率变化的输入电压;检测所述MEMS器件的输出电压;根据如下公式获取与之对应的静电力;根据所述静电力和输出电压获取所述MEMS器件的检测参数。本发明的MEMS器件检测方法通过施加连续变化的电压模拟真实的MEMS麦克风来测试MEMS特性,提高了MEMS检测参数的准确度,省去了记录大量测试点的繁琐工作,提高了测试效率。

    一种两线硅麦克风放大器

    公开(公告)号:CN105450191B

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201410384007.8

    申请日:2014-08-06

    Inventor: 孙丽娜 杨少军

    Abstract: 本发明公开一种两线硅麦克风放大器,其具有四个端口,输入端和高压偏置端与硅麦克风器件接口相连,输出端和地端提供电流信号输出;电源稳压器隔绝输出端的电压信号并给其它内部模块包括电荷泵、输入缓冲器、放大器、阻抗转换模块以及动态直流偏置和交流反馈模块提供稳压电源;电荷泵产生高压偏置电压;输入缓冲器将硅麦克风的电容信号转换为电压信号;放大器对输入缓冲器产生的电压信号进行放大;动态直流偏置和交流反馈模块根据输入信号的幅度动态调整放大器的直流偏置电压,并且提供交流反馈回路调整放大器的放大增益;阻抗转换模块将放大器放大的电压信号转换为输出端和地之间的电流信号,此电流信号流经麦克风外部的偏置电阻产生电压信号。

    一种带金属环的扬声器膜片的加工切除方式

    公开(公告)号:CN108966109A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201811070388.7

    申请日:2018-09-13

    Inventor: 王国良 宋学平

    CPC classification number: H04R31/003

    Abstract: 本发明公开了一种带金属环的扬声器膜片的加工切除方式及其专用工具,所述加工切除方式包括金属环膜片的预切除;所述膜片的预切除为:a、将膜片的外围设置金属环,形成金属环膜片;b、金属环膜片成型后,对金属环膜片进行预切除;与现有技术相比,本发明提供的一种带金属环的扬声器膜片的加工切除方式及其专用工具能提高扬声器本体定位的精准度;防止因膜片切除时超出产品外形导致扬声器与模组装配出现问题;扬声器单体与模组配合的位置不会存在膜片超出的问题,可以解决因扬声器膜片激光切除擦保留问题造成的装配不良问题,提高产线良率。

    振膜及应用该振膜的电声器件

    公开(公告)号:CN108924711A

    公开(公告)日:2018-11-30

    申请号:CN201810874421.5

    申请日:2018-08-03

    Inventor: 刘军 沈振宇

    Abstract: 本发明振膜,包括顶球部,折环部,边缘部以及导电部,所述导电部包括位于边缘部上的引线部,与引线部连接位于折环部上的连接部,以及位于球顶部的内焊盘部,所述内焊盘部电连接与振膜连接的音圈,从而避免因振膜振动以致音圈的导线易断裂的现象,保证了在扬声器的振膜剧烈振动或者长时间工作时音圈引线不会发生断裂,进而微型扬声器的电连接良好,大大的提高了微型扬声器的可靠性,延长了微型扬声器的使用寿命。

    一种MEMS MIC及其生产工艺
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104168530B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201410356424.1

    申请日:2014-07-25

    Inventor: 万景明

    Abstract: 一种新型MEMS MIC,包括接线板,接线板上粘接有外壳,外壳与接线板之间设有MEMS片,MEMS片具有空腔的一侧粘接在外壳的内壁上,另一侧通过焊盘与接线板连接,所述外壳上与MEMS片的空腔相对应的位置开设有音孔,所述接线板上位于MEMS片一侧的位置连接有ASIC片。采用上述技术方案,用一体式的外壳替代了中间板和盖板,直接将MEMS片通过焊盘与接线板连接,同时不再用金线将MEMS片与ASIC片连接,焊盘高度几乎可以忽略不计,MEMS MIC的整体高度会降低,能够做到小型化、质量轻;音孔与MEMS片自带的腔相对应,MEMS片自带的腔为前腔,另外一个腔为背腔,背腔较大,前进音MEMS MIC可做到高信噪比。

    一种硅电容麦克风的制造方法

    公开(公告)号:CN104936123B

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201510267033.7

    申请日:2015-05-22

    Inventor: 万蔡辛 杨少军

    Abstract: 一种硅电容麦克风的制造方法,在平面内划分为适应后道加工工艺的外围区域和提供声学到电学信号的转换与传递的核心区域,在垂直方向划分为作为基底和提供声腔的衬底材料层和实现声学到电学信号转换的功能层,其中在外围区域的衬底部分不穿透地去除部分材料,或在外围区域的功能层设置图形。本发明能在现有工艺水平下,减小设置的外围区域的面积,从而提高芯片面积用于性能指标的有效利用率,促进产品小型化,提高产品兼容性,对降低产品成本,拓宽产品的应用场合,增加产品市场竞争力有积极的意义。

    一种汽车音频噪声管理系统

    公开(公告)号:CN108597490A

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201810630089.8

    申请日:2018-06-19

    Abstract: 本发明涉及一种汽车音频噪声管理系统,包括主机和车载ANC及娱乐系统,其中,主机作为控制及运算核心,控制各个音频、功能节点交互工作,以完成整车信息化、智能化的需要;车载ANC系统作为整个汽车音频噪声管理系统中的一个节点,参与到整车各节点间的交互,其将采集到的检测信息经过AD转换、DSP处理,然后通过扬声器播放,完成ANC噪声清除,通过独立节点内的DSP模块取代主机DSP模块进行降噪处理,进而提高主动噪声消除运算效率,降低ANC对主机多媒体服务方面的运行流畅度的影响;采用加速度计传感器对路况等状态进行前馈式的采集和预处理,实现全方位主动噪声消除。

    一种滤波器的实现方法和一种数字模拟转换器

    公开(公告)号:CN105322967B

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201410341829.8

    申请日:2014-07-17

    Inventor: 王龙伟 杨少军

    Abstract: 本发明公开一种滤波器系数的实现方法,包括以下步骤:获取所述滤波器对应的n个系数,对该n个系数进行归一化处理,得到n个分别代表该n个系数的整数a0,a1,…an;对n个整数a0,a1,…an,设置n个电流源分别与其相对应,同时改变所述电流源的晶体管长度及宽度,使n个所述电流源与单位电流源的比值分别为a0,a1,…an,以实现单位电流源与系数的相乘,得到n个用电流源表示的系数模块;其中n为大于或等于1的正整数。本发明同时还公开一种采用本发明的滤波器系数的实现方法实现的滤波器,及利用该滤波器的数字模拟转换器,可以提高信号的线性度,降低电路实现的复杂度。

    一种控制灯具的方法及装置

    公开(公告)号:CN104703369B

    公开(公告)日:2018-06-05

    申请号:CN201510152649.X

    申请日:2015-04-01

    Inventor: 侯杰 宋拥军

    Abstract: 本发明实施例公开了一种控制灯具的方法及装置,通过传感器将场景分成若干格点,并感测所述格点上的人员信息;主控芯片根据内部算法,分析所述人员信息,产生第一控制命令;驱动模块根据所述第一控制命令,驱动相应灯具。其中,这种通过传感器将场景分成若干格点,并感测所述格点上的人员信息的方法,与现有技术中的通过多个传感器配合获取人员信息的方法相比,减少了使用传感器的数量,从而减少了室内布线的难度。

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