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公开(公告)号：CN103913399A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201210594604.4
申请日：2012-12-31
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
摘要： 本发明提供一种固体密度测量方法和检验靶材密度是否合格的方法，其中固体密度测量方法，包括：提供固体试样；测量固体试样在空气中的质量为第一测量质量M0；将固体试样浸没在液体中，测量固体试样在液体中的质量为第二测量质量M2；根据M0+ρ空gV物＝M2+ρ液gV物，获取固体试样的体积；其中，ρ空为空气的密度、ρ液为液体的密度；根据固体试样的体积以及实际质量，获取固体试样的密度，所述实际质量为M0+ρ空gV物或M2+ρ液gV物。本发明还提供一种检验靶材密度是否合格的方法，采用本发明的固体密度测量方法能够提高靶材密度的检测精度，提高溅射工艺中的镀膜质量。
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公开(公告)号：CN103801820A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201210454432.0
申请日：2012-11-13
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
IPC分类号： B23K20/22
CPC分类号： B23K20/021 , B23K20/14 , B23K20/2333 , B23K20/24
摘要： 本发明提供了一种钽靶材和铝背板的热等静压扩散焊焊接方法，包括：将钽靶材和铝背板装入真空包套；对所述真空包套进行抽真空；将所述真空包套装入热等静压炉中，先进行升温升压，再进行保温保压；对所述真空包套进行去压冷却；拆除所述真空包套取出所述钽靶材和铝背板焊接形成的靶材组合。本发明所提供的钽靶材和铝背板的热等静压扩散焊焊接方法所焊接得到的钽靶材组件的焊接强度能高达150Mpa，成品率达到98%以上。通过本发明方法所形成的钽靶材组件具有结合紧密度高、受热抗变形能力强等优点。
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公开(公告)号：CN103785911A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201210424691.9
申请日：2012-10-30
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
CPC分类号： B23K1/08 , B23K1/19 , B23K1/206 , B23K2103/10 , B23K2103/12
摘要： 一种靶材组件的焊接方法，包括：提供铝靶材坯料和背板；利用熔融的锌锡焊料对铝靶材坯料的焊接面进行表面浸润处理；利用熔融的铟焊料对背板的焊接面进行表面浸润处理；利用锌锡焊料和铟焊料将表面浸润处理后的所述铝靶材坯料的焊接面与背板的焊接面焊接在一起。本发明中靶材组件的焊接方法有效提高了铝靶材坯料与背板的结合率以及焊接强度，使铝靶材坯料与背板的结合率达到97%以上，可有效降低焊接出来的靶材组件发生脱靶或者变形的几率。
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公开(公告)号：CN103785838A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201210429639.2
申请日：2012-11-01
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
摘要： 一种铬靶材的制作方法，包括：首先提供铬粉末；接着将铬粉末放置入真空包套并抽真空；然后采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型，形成铬靶材；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。采用本发明提供的铬靶材的制作方法，避免使用模具，同时，形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的铬靶材的致密度、内部组织结构的均匀性，而且，铬靶材的纯度也能满足要求越来越高的溅射工艺。
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公开(公告)号：CN103707002A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201210374916.4
申请日：2012-09-29
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
CPC分类号： B23P15/00 , B23K9/007 , B23K9/16 , C23C14/3407
摘要： 本发明公开一种聚焦环及其形成方法，其中所述方法包括：在金属板条长度方向上的其中一端形成一个或者多个沿宽度方向排列的第一卡齿，在所述金属板条长度方向上的另一端形成一个或者多个沿宽度方向排列的第二卡槽；将所述金属板条卷曲，使得所述第一卡齿与所述第二卡槽相互嵌合，从而使得所述金属板条长度方向上的两端相互嵌合，嵌合后所述金属板条形成环形的金属板条；进行氩弧焊焊接，将所述环形的金属板条中相互嵌合的所述两端焊接在一起，形成聚焦环。本发明所公开的聚焦环的形成方法通过在金属板条的首端和尾端形成卡齿和卡槽，再通过氩弧焊点焊焊接，所形成的聚集环焊接质量优良，并且由于焊接时不需要焊料，节约成本。
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公开(公告)号：CN103692151A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201210367228.5
申请日：2012-09-28
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
IPC分类号： B23P15/00
CPC分类号： B23P15/00
摘要： 本发明提供了一种钛聚焦环的制造方法，包括：热锻处理、冷轧、以及第一热处理，卷圆和第二热处理步骤。其中，当钛聚焦环坯料经热锻处理、冷轧工艺后，在后续两步热处理步骤中，只需将钛聚焦环坯料置于普通的热处理炉（非真空处理炉）中，并配合特定的条件下先后进行两次热处理，及在热处理工序后配合特定的冷却工艺、机械加工工艺，即可制得微观晶粒细小，结构均匀的钛聚焦环。相比于以往普通热处理炉处进行的热处理后钛聚焦环坯料出现的深度氧化现象而造成产品的报废，采用本发明制备的钛聚焦环完全符合溅射工艺的要求；而与现有的真空热处理工艺相比，本发明在保证钛聚焦环质量的同时，简化了制备工艺，降低了工艺成本。
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公开(公告)号：CN103681201A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210316426.9
申请日：2012-08-30
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
IPC分类号： H01J37/34
摘要： 一种溅射环及其制造方法，所述制造方法包括在溅射环的第一端部形成槽、在第二端部上形成嵌入部，槽的形状与嵌入部的形状相同且槽的宽度不大于嵌入部，槽具有适于阻止嵌入部从槽脱离开的阻挡壁。与现有通过焊接工艺将溅射环坯料第一端部与第二端部固定连接在一起的方法相比，本发明中溅射环坯料第一端部与第二端部固定连接在一起之后，第一端部与第二端部的连接处不会形成焊料，因此，不会对车削加工及花纹加工造成影响，且避免了焊接工艺过程中的高温条件会影响第一端部与第二端部的晶粒结构。
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公开(公告)号：CN103659767A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210350526.3
申请日：2012-09-20
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
IPC分类号： B25H1/18
摘要： 本发明提供了一种具有翻转功能的工作台，包括：底座、下端连接于所述底座上的支撑立柱，以及设置于所述支撑柱上端、用于翻转靶材基板的翻转板。所述翻转板包括两块支撑板，所述两块支撑板相邻的两端活动连接，并通过一驱动装置调整两块支撑板所成的角度。使用过程中，通过所述两块支撑板之间的角度调整，从而调整所述两块支撑板表面的距离，以方便靶材基板的翻转。在此过程中，不仅可快速便捷地完成靶材基板翻转，还可有效避免靶材基板的形变和划伤现象出现，保证靶材基板的品质。
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公开(公告)号：CN102366833B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201110372337.1
申请日：2011-11-21
申请人： 宁波江丰电子材料有限公司
IPC分类号： B22F3/14
摘要： 一种钨钛靶材坯料的制作方法，包括：首先提供钨钛粉末；接着将钨钛粉末放置入真空包套，抽真空；然后采用热等静压工艺进行烧结成型；完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出钨钛靶材坯料。采用本发明提供的钨钛靶材坯料的制作方法，避免使用模具，同时，形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性优于采用热压形成的钨钛靶材坯料的致密度、内部组织结构的均匀性。
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