公开(公告)号：CN101573474B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200780031257.1

申请日：2007-07-21

申请人： 丹巴赫尔·沃尔夫冈

发明人： 马库斯·朗

IPC分类号： B05B12/06

CPC分类号： H05K3/0085 ,  B05B12/20 ,  B05B14/00 ,  C23F1/02 ,  C23F1/08 ,  G03F7/30 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/67086 ,  H05K3/068 ,  H05K2203/0746 ,  H05K2203/1492 ,  H05K2203/1509

摘要： 本发明涉及对于材料6的表面5所进行的湿化学处理。此发明特别适合于对结构进行加速处理，这些结构存在于比如印制电路技术中。为此需产生脉冲状的处理液体射流4，并使此射流喷向材料的表面。这样就会在被处理结构的底部产生一个得到加强的冲击效果，从而大大减小所需要的处理时间。在脉冲间歇时间，处理液体从结构线路中呈无压状态加速流出，这样一来与以往技术水平相比，结构或印制线路的侧壁所受的湿化学处理影响较小，这是本发明的另一个目的。所以进行化学蚀刻时，处理时间一定的情况下产生的陶蚀较小，或者是在陶蚀情况相同时可显著减少处理时间。