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公开(公告)号：CN102230571B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201110130462.1
申请日：2011-05-19
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆超净技术有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司
IPC: F17C7/04
Abstract: 本发明公开了一种液态源汽化装置及其汽化方法，所述方法包括如下步骤：a)采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b)使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡携带汽化；c)使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，并根据用气量切换步骤a)中的蒸发汽化和步骤b)中的鼓泡携带汽化。本发明提供的液态源汽化装置及其汽化方法，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。
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公开(公告)号：CN102586780A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210039679.6
申请日：2012-02-21
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海交通大学
IPC: C23F1/24
Abstract: 本发明涉及一种酸性蚀刻液及其制备方法和应用，组成包括：1～20wt％的氢氟酸，20～60wt％的硝酸，1～20wt％的氟硅酸，其余为水。制备方法包括：以氟化氢气体或氟化氢酸，70～98wt％的硝酸水溶液和硅或二氧化硅为原料，按上述配比混合，得酸性蚀刻液。酸性蚀刻液用于蚀刻硅晶片、GaAs晶片、GaP晶片或InP晶片的蚀刻。本发明与传统的蚀刻液不同，不需要对环境造成较大负担的醋酸、磷酸等，不会产生异味，也可减小废弃物的负荷。
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公开(公告)号：CN101934900B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201010204701.9
申请日：2010-06-18
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海亿欣电子科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种特殊化学品的安全输送装置，包括外壳及其上盖，外壳分为上下两部分，外壳的上下两部分之间以及外壳与上盖之间皆设有密封装置，其特征在于，外壳的内侧设有缓冲装置，缓冲装置内侧设有石英内胆，石英内胆的上部分设于外壳的上部分内，外壳的上部分侧面设有把手，石英内胆的顶端设有第一气体阀和第一液体阀，第一气体阀和第一液体阀分别通过气体管路和液体管路连接第二气体阀和第二液体阀，第二气体阀和第二液体阀设于不锈钢板上，不锈钢板固定于外壳的上部分内侧。本发明的优点是安全可靠。
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公开(公告)号：CN102109091A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010596166.6
申请日：2010-12-20
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司
IPC: F17D1/04
Abstract: 本发明公开了一种高纯液化气体的输送装置及其输送方法，所述装置包括通过管道相连的钢瓶和蒸发器，其中，所述蒸发器置于水浴箱中，所述蒸发器为压力容器，内部设有导流筒，所述蒸发器的入口处设置有介质进口阀门，出口处设置有介质出口阀门，所述蒸发器底部设置排污阀门；所述水浴箱上安装有电热丝、数字温控仪表和液位计，所述水浴箱和自动补水装置相连。本发明提供的高纯液化气体的输送装置及其输送方法，通过设置水浴箱将液化气体引出钢瓶，使用水浴方式加热外接的蒸发器，使蒸发器内部的液化气体汽化、纯化后输送至使用端，从而有效地保证了输出气体的大流量、高纯度和系统的安全、稳定性。
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公开(公告)号：CN102172686B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201110026567.2
申请日：2011-01-25
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技有限公司
Inventor： 靳化龙
IPC: B21D7/06
Abstract: 本发明涉及一种手动螺旋管弯管器和方法，螺旋管弯管器包括支架、驱动机构、旋转轴和弯制手柄，支架顶端设有旋转轴座；旋转轴的左端穿过旋转轴座并与驱动机构连接；旋转轴座的右侧设有挡块；旋转轴上套有可绕旋转轴旋转且沿旋转轴轴向滑动的旋转轴套；旋转轴套上连有角度调整块；角度调整块与弯制手柄连接；弯制手柄的端部设有凹槽，凹槽内嵌有滑块；滑块的空腔内嵌有滚轮；滚轮边缘刻有半圆凹槽；本发明可以弯制各种小口径的金属管道，便于组装和携带。在进行螺旋管弯制时，滚轮边缘的半圆凹槽与螺旋轴的螺旋凹槽恰好形成管子的外圆形，该外圆形用于卡住管子降低管子的形变量，避免管子在弯制成螺旋状时变扁的问题。
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公开(公告)号：CN102580358A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210012835.X
申请日：2012-01-16
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技有限公司
Inventor： 靳化龙
IPC: B01D19/00
Abstract: 本发明涉及一种U形带隔板的液气分离器及其使用方法，装置包括筒体(3)、隔板(2)、出口管路(7)、进液口(1)和排气口(8)，所述的隔板(2)竖直安装在筒体(3)的中部将筒体(3)的下半部分隔成大小相等的左腔和右腔，所述的左腔的底部连接有出口管路(7)，所述的右腔的底部开有一个进液口(1)，所述的筒体(3)的上端顶部中间开有一个排气口(8)，所述的出口管路(7)的一端安装连接有一个出液阀门(6)，所述的排气口(8)的上端连接安装有一个排气阀门(5)。本发明所述装置结构简单，操作方便安全，体积小，便于安装，液气分离效果好，避免排气口排气时带出液体的现象。
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公开(公告)号：CN101358687B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200710044451.5
申请日：2007-08-01
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆超净技术有限公司
Inventor： 李东升
Abstract: 本发明涉及一种气体安全输送方法，该控制阀包括报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压指示、紧急切断按钮、气动阀、电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警；所述的报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压指示、紧急切断按钮设置于控制箱面板上，所述的电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警设置于控制器内部。与现有技术相比，本发明能够极大的提高特殊气体输送的安全性，不但能够在危险发生时及时停止气体输送，防止危险的进一步扩散，并且能够保证气体输送和工艺生产的连续性。
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公开(公告)号：CN102230571A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110130462.1
申请日：2011-05-19
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆超净技术有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司
IPC: F17C7/04
Abstract: 本发明公开了一种液态源汽化装置及其汽化方法，所述方法包括如下步骤：a)采用内部电加热或外部加热的方式，使液态源在汽化容器中实现蒸发汽化；b)使用外部加热使载气进入步骤a)中的汽化容器携带气体鼓泡，鼓出的气体中掺杂少量液态源蒸气，从而实现鼓泡携带汽化；c)使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，并根据用气量切换步骤a)中的蒸发汽化和步骤b)中的鼓泡携带汽化。本发明提供的液态源汽化装置及其汽化方法，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。
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公开(公告)号：CN107479484B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN201710799482.5
申请日：2017-09-07
Applicant: 江苏正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
IPC: G05B19/05
Abstract: 本发明实施例公开了一种气柜控制系统及方法，该控制系统包括：主PLC，用于在工作状态下执行供气控制功能；辅PLC，与所述主PLC相连，用于在跟随运行状态下监测到所述主PLC故障，则从所述跟随运行状态切换到临时运行状态，且用于在所述临时运行状态下执行部分供气控制功能。本发明实施例提供的气柜控制系统及方法，辅PLC可以在主PLC故障时执行部分供气控制功能，且系统配置简单，成本低、可靠性高。
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公开(公告)号：CN109432828A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811534209.0
申请日：2018-12-14
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Inventor： 常军
IPC: B01D19/00
Abstract: 本发明涉及化工技术领域，公开一种气液分离装置，包括：真空管，其上设有抽气口；分离管，位于真空管内，分离管内用于流通含有氢气和/或氦气的液体；抽气单元，通过抽气口抽出真空管内的气体，使分离管内液体中含有的气体穿过分离管管壁进入真空管内。本发明通过抽气单元将真空管内的气体抽出，使真空管内的压强小于等于设定值，由于分离管内液体中含有的氢气或者氦气的相对分子质量比较小，且分离管内外存在压差，气体能够穿过分离管壁进入真空管内，并通过真空单元将其抽出，通过该气液分离装置提高了液体的纯净度。
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