二次电池用负极活性物质及其制备方法

    公开(公告)号:CN118414725A

    公开(公告)日:2024-07-30

    申请号:CN202280084393.1

    申请日:2022-12-09

    申请人: OCI有限公司

    摘要: 根据本发明的二次电池用负极活性物质的制备方法,在制备具有i)在包含纳米硅及非晶碳的复合材料形成有沥青涂膜的结构;或者ii)石墨核及围绕上述核的纳米硅‑沥青壳结构的二次电池用负极活性物质的过程中,通过使用两种溶剂来形成沥青涂膜,可以提高沥青涂膜的均匀性及致密性。并且,本发明的包含二次电池用负极活性物质的二次电池用负极材料可以提高二次电池的初始放电容量、初始效率及寿命特性。

    氮化硅膜蚀刻溶液及使用其的半导体器件的制备方法

    公开(公告)号:CN112216607A

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN202010626275.1

    申请日:2020-07-01

    申请人: OCI有限公司

    IPC分类号: H01L21/3105

    摘要: 本发明涉及一种氮化硅膜蚀刻溶液及使用其的半导体器件的制备方法,更详细地,提供一种氮化硅膜蚀刻溶液及使用其的半导体器件的制备方法,由于该氮化硅膜蚀刻溶液包含与以相同体积为基准的球形的第一胶体二氧化硅粒子相比表面积增加的第二胶体二氧化硅粒子,即使在高温下也可以防止胶体二氧化硅粒子的凝集现象,从而防止硅类颗粒的产生,在蚀刻条件下,提高相对于氧化硅膜对氮化硅膜的蚀刻选择比。

    氮化硅膜蚀刻溶液及使用其的半导体器件的制备方法

    公开(公告)号:CN112210379A

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN202010554002.0

    申请日:2020-06-17

    申请人: OCI有限公司

    IPC分类号: C09K13/06 H01L21/311

    摘要: 本发明涉及一种氮化硅膜蚀刻溶液以及使用其的半导体器件的制备方法,更详细地,涉及一种氮化硅膜蚀刻溶液以及包括通过使用其来进行的蚀刻工序的半导体器件的制备方法,该氮化硅膜蚀刻溶液中包含具有杂芳基类取代基的化合物,因此不易分解且在磷酸水溶液中显出高分布度,从而可提高相对于氧化硅膜对氮化硅膜的选择比。

    蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法

    公开(公告)号:CN109207151B

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN201810730527.8

    申请日:2018-07-05

    申请人: OCI有限公司

    IPC分类号: C09K13/04 H01L21/306

    摘要: 本发明涉及蚀刻组合物及利用其的蚀刻方法。本发明涉及蚀刻组合物、蚀刻方法及利用其的半导体器件的制造方法,更详细地涉及包含使氧化膜的蚀刻率最小化并可选择性地去除氮化膜的高选择比的化合物的蚀刻组合物及包括利用该蚀刻组合物的蚀刻工序的半导体器件的制造方法:化学式1:在所述化学式1中,n为0至4的整数,R1至R3各自独立地选自由氢、卤素、羟基、C1~C10的烷基及C3~C10的环烷基组成的组中,R1至R3中的一种以上为羟基,R4选自由氢、卤素、C1~C10的烷基及C3~C10的环烷基组成的组中,X1为‑(C(R5)(R6))m‑,m为0至3,R5及R6各自独立地选自由氢、C1~C10的烷基及C3~C10的环烷基组成的组中。