一种光刻胶喷涂设备
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114918053B

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202210578943.7

    申请日:2022-05-26

    Abstract: 本发明公开了一种光刻胶喷涂设备,涉及半导体生产领域,该喷涂设备包括喷涂机架、托盘和喷涂组件;所述喷涂组件包括喷涂头组件、料箱、料泵和承托驱动机构,所述喷涂头组件包括外壳体、旋转雾化件和导液细管,所述承托驱动机构包括支托架、支托滑轨、六棱柱和驱动件,所述支托架固定在喷涂机架上且六棱柱转动设在支托架上,六棱柱的外壁上设置有多组齿条且每组齿条的齿间距不同,所述支托滑轨设在支托架侧部且支托滑轨上设有在其上滑动的承托件,所述旋转雾化件的外壁上具有与其中一组齿条相啮合的外齿轮。本发明结构简单,能够雾化光刻胶喷涂并调节光刻胶的雾化及喷涂速度,喷涂均匀且便于操作。

    一种高纯净TMAH试剂离子色谱检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN111735882B

    公开(公告)日:2022-05-20

    申请号:CN202010618677.7

    申请日:2020-07-01

    Abstract: 本发明公开了一种高纯净TMAH试剂离子色谱检测装置及其检测方法,包括检测机体和检测门板,所述检测机体的前侧设置有检测门板,所述检测门板通过边缘铰链栓接来活动连接于检测机体处,所述检测门板的表面在靠近左侧边缘处设置有缓冲插管,所述缓冲插管纵向贯穿于检测门板处,所述检测机体的前端在位于右上角处嵌入有检查器室,所述检查器室的下方在位于检测机体的前端嵌入有蠕动泵组,所述蠕动泵组的左侧在位于检测机体的前端嵌入有抑制模块,所述抑制模块的下方在位于检测机体的前端嵌入有高压泵组,来获取最大接触面积,进而避免细管直接接触插管管沿时,因接触面积小,而在小幅度弯曲时出现弯折,进而引发液体无法流动问题。

    一种化合物半导体去胶液生产线
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114392669A

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202111681369.X

    申请日:2021-12-29

    Abstract: 本发明公开了一种化合物半导体去胶液生产线,包括第一主溶剂罐、第二主溶剂罐、第三主溶剂罐、第一助溶剂罐、第二助溶剂罐、第一表面活性剂罐、第二表面活性剂罐、水罐和搅拌罐,其特征在于:所述搅拌罐的一侧通过导管与第一主溶剂罐、第二主溶剂罐、第三主溶剂罐、第一助溶剂罐、第二助溶剂罐、第一表面活性剂罐和第二表面活性剂罐固定连接。该化合物半导体去胶液生产线,通过在去胶液的生产线中设置抗锈剂罐,且抗锈剂罐的内部盛装有枸橼酸钠溶液,由于枸橼酸钠具有较强的络合性和缓凝性,且枸橼酸钠不与主溶剂、活性剂和助溶剂反应,在去胶液生产并使用后,可与半导体内部金属离子结合,形成很稳定的新的离子。

    一种显影液回收装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN114371604A

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN202210030059.X

    申请日:2022-01-12

    Abstract: 本发明公开了一种显影液回收装置及其使用方法,包括转动杆,所述转动杆的一侧底部固定连接有电动伸缩式杆,所述电动伸缩式杆的底部固定连接有支撑架,所述支撑架的顶部固定连接有清洁管;本发明通过设置的第一水泵,将储水罐内的水通过第一连接管进入伸缩软管内,再从伸缩软管进入第四连接管内,最后进入清洁管中,水再从喷射口中喷射出来,在对清洗工作柜的内壁时,能够清洗的更加干净,提高其清洗质量,准备完成之后,通过电动伸缩杆控制模块控制电动伸缩式杆向下移动,电动伸缩式杆带动清洁管一起移动,对工作柜的内壁进行清洗,完成清洗作业,保证装置在工作时,不会被工作柜内壁残留的旧显影液影响工作效果,取代人工清洗,更加安全也更加方便。

    一种四甲基氢氧化铵的提纯装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN113101739A

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN202110314668.3

    申请日:2021-03-24

    Inventor: 刘颂军

    Abstract: 本发明公开了一种四甲基氢氧化铵的提纯装置及其使用方法,包括提纯粗滤罐、提纯反应罐和提纯精滤罐,所述提纯粗滤罐上方一端设置有进料口,所述提纯粗滤罐内部嵌设有石英砂吸附过滤层,所述石英砂吸附过滤层一端设置有活性炭吸附过滤层,所述提纯反应罐上方一端活动连接有反应罐罐盖;本发明中密封电机仓能够使电机转轴带动搅拌浆叶进行转动,对内部四甲基氢氧化铵液体进行搅拌,使其与吸附材料充分接触反应,去除四甲基氢氧化铵液体内部的金属离子杂质,本发明中通过透明视窗可观察提纯精滤罐内部以及精滤膜的使用情况,从而决定是否对提纯精滤罐内部进行清洗,对精滤膜是否清洗更换,能够有效防止因杂物污物导致四甲基氢氧化铵的纯度降低。

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