公开(公告)号：CN206105586U

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201621078823.7

申请日：2016-09-26

Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 ,  清华大学

Inventor： 许振杰 ,  陈祥玉 ,  庞伶伶 ,  王剑 ,  王同庆 ,  李昆 ,  路新春

IPC: B24B29/02 ,  B24B41/02 ,  B24B57/02

Abstract: 本实用新型公开了一种抛光机，抛光机包括：框架，框架包括安装平台和上安装板，上安装板位于安装平台的上方；抛光盘，抛光盘安装在安装平台上；平移驱动装置，平移驱动装置安装在上安装板上；悬挂组件，平移驱动装置适于驱动悬挂组件平移，悬挂组件的一部分朝向安装平台伸出；抛光驱动组件，抛光驱动组件与悬挂组件的伸出部分相连且位于抛光盘的上方。通过设置框架的上安装板和悬挂组件，可以取消悬臂，这样可以保证抛光驱动组件的平移可靠性，从而可以保证抛光质量，以及可以增加抛光驱动组件在抛光盘上的行程，这样可以使得抛光头的摆动行程覆盖抛光盘上的抛光垫的中心，可以提高抛光垫的利用率。