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公开(公告)号：CN111272852A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010088543.9
申请日：2020-02-12
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01N27/414
Abstract: 本发明属于生物检测传感技术领域，具体涉及一种超亲水的场效应管生物传感器及其制备方法。选取(111)型SOI硅片为传感器衬底材料，保障器件结构与衬底之间绝缘特性；采用MEMS工艺制备的阵列化硅纳米线结构，增大待测物质与器件敏感单元的接触面积，进而提高传感器的灵敏度；超亲水结构分布于传感器隔离沟道周围，能够强力吸附待测溶液，与器件敏感单元充分接触；采用1,8-壬二炔选择性地官能化硅纳米线，保障抗体在器件表面的定向修饰和待测液中抗原的定向吸附。本发明能够实现对生物待测液中抗原进行快速、灵敏、非侵入性地液体体外活检。
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公开(公告)号：CN109734044A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201910020108.X
申请日：2019-01-09
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种自驱动的微型冲击锤。本发明包括固定支撑、冲击锤、储能梁、旋转臂、固定梳齿和旋转梳齿。冲击锤的两侧与各自的储能梁一端连接，储能梁的另一端与固定支撑连接，多根旋转臂一端与销轴连接，另一端悬空；多根旋转臂同步旋转，该旋转可带动冲击锤上升或下降，完成冲击动作。本发明通过两对旋转梳齿和四个固定梳齿的结合，使得旋转臂在同样的电压下可以获得双倍的静电力，提高了存储能量和释放能量的速度，优化了锁定结构，同时还可以用电压对旋转臂进行自驱动，无需使用探针，增强了便捷性。
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公开(公告)号：CN109142783A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810818464.1
申请日：2018-07-24
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P2015/0862
Abstract: 本发明公开了一种包含新型梳齿电极板的微加速度计。本发明中的微加速度计由下列部分组成：硅层的锚点、质量块，U型梁、栅形电极、驱动器锚点，驱动器U型梁，驱动器块、改进梳齿极板，防吸合固定质量块；衬底层；铝电极层。可动的栅形电极和固定极板的梳齿电极形成了电容对，在梳齿结构电极板上刻蚀凹槽可以有效减小阻尼，在对凹槽的具体结构做了理论分析和仿真验证之后，继续优化了凹槽的间距、形状等结构，所设计的微加速度计比传统的具有更低的压膜阻尼、更好的抗噪声性能，更高的品质因数，从而优化了微加速度计的综合性能。
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公开(公告)号：CN109029431A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810526927.7
申请日：2018-05-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS惯性测量系统的三轴多级PCB减振结构。本发明包括处于同一平面的矩形板、第一回形板和第二回形板，其中矩形板用于放置MEMS惯性测量系统中的惯性传感器，矩形板位于第一回形板内，通过四个减振连接器与第一回形板连接，所述的第一回形板用于放置系统电路；第一回形板在第二回形板内，也通过四个减振连接器与第二回形板连接，所述的第二回形板通过固定螺孔与外部设备直接相连。本发明在尽量不增加惯性测量系统电路板的体积与质量的同时，降低了MEMS惯性传感器的三轴振动输出误差。
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公开(公告)号：CN108982905A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810841146.7
申请日：2018-07-27
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种集流量传感器为一体的可降气体流速的MEMS缓冲结构。本发明在流量传感器薄膜外围设有多个均匀分布的铂金属片，其用于气体检测流量；在两相邻的铂金属片之间有障碍物，所述的障碍物围绕集流量传感器薄膜也呈均匀分布，其高度大于铂金属片高度，用于降低气体的流速。本发明通过障碍物降低外界气体流过传感器薄膜的流速，减小了气体流动对加热器温度变化的影响，使得传感器的稳定性得到了提高，集成的流量传感器更好的反馈出了气体流过传感器薄膜时的流速。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107749696A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201711207591.X
申请日：2017-11-27
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种新型的摆动式微机械锁止结构。本发明包括一个摆动单元和机械锁闩单元。其中，摆动单元包括一个摆动本体，一个由电机驱动的转动轴，一个用于转动轴转动并且与转动轴相匹配的槽，一对相互啮合的微齿轮和齿条，和一根在齿轮的带动下摆动的摆动连杆。机械锁闩单元包括弹性卡勾、防脱凸台和锁闩底座。本发明将电机驱动的转动轴的转动转化为摆动组件的摆动，然后由弹性卡勾和防脱凸台共同作用实现锁止。本发明结构简单、易于加工，在提高生产效率的同时降低生产成本，而且锁止效果好。
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公开(公告)号：CN106586945B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201710014468.X
申请日：2017-01-07
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种低驱动电压的微型冲击锤。本发明中的微型冲击锤由六部分组成：一个圆柱形的冲击器、储存能量的梁、减速齿轮组、锁定机构、微曲柄滑块机构和梳状驱动器。其中梁与弹簧体用于存储能量，相对于单一锁定结构，加入减速齿轮组，大齿轮与小齿轮相嵌合，小齿轮带动大齿轮，小齿轮分度圆半径为r，大齿轮分度圆半径为R，则小齿轮驱动力为大齿轮阻力的r/R。同时多级齿轮组作用下能大大减少小齿轮的驱动力。本发明通过静电力的作用，使梳状微驱动器产生水平横向位移，通过微型曲柄滑块结构将水平横向位移转化为圆周运动来驱动齿轮组进行运转，带动冲击器垂体存储和释放能量，大大减小了驱动力，从而实现小电压驱动下能量的存储与释放。
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公开(公告)号：CN104101735A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410333505.X
申请日：2014-07-14
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01P15/125 , B81B7/00
Abstract: 本发明涉及一种基于边缘效应的含自我标定功能的微惯性传感器。现有的带自我标定功能的传感器标定范围小。本发明中敏感器质量块为刻蚀有栅条形井的矩形硅片，四对应端通过硅支撑梁与锚点连接，四对应端分别设置有数量相同、位置对应的矩形硅条。敏感器质量块连接的梳型硅条与固定检测硅条，以及栅形电极和衬底表面的栅形铝电极组成检测电容。当在质量块敏感方向上加载加速度信号时，敏感器质量块上硅条组切割衬底边缘电场的电场线，从而衬底边缘电容发生变化，通过检测微惯性传感器的电容变化最终来检测所加载的加速度的大小。本发明增大了振子质量，减少了吸合现象，减小了布朗噪声；增大了检测电容，减小了压膜空气阻尼。
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公开(公告)号：CN120084473A
公开(公告)日：2025-06-03
申请号：CN202510268564.1
申请日：2025-03-07
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种具有高分辨率定位功能的MEMS多维力觉传感器，包括SOI器件和SOI盖板，SOI器件设计为4×4阵列结构，每个阵列单元包括两个法向应力传感单元、一个X轴切向应力传感单元、一个Y轴切向应力传感单元和一个电容测距单元。电容测距单元位于所述阵列单元中心，两个法向应力传感单元呈右上和左下对角分布，X轴切向应力传感单元和所述Y轴切向应力传感单元呈左上和右下对角分布。SOI盖板包括六十四个均匀分布的触觉凸台和硅封装盖。本发明通过阵列结构与法向、切向应力传感单元增加了数据量并降低了信号串扰影响，提升了多维力觉传感器的精度与稳定性。
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公开(公告)号：CN119492467A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411512393.4
申请日：2024-10-28
Applicant: 杭州电子科技大学
IPC: G01L1/22 , G01L5/1627 , G01L5/00 , G01L9/00 , G01L9/04
Abstract: 本发明涉及可检测多维应变的渔网状液态金属柔性传感器及制备方法，所述传感器包括弹性主体和液态金属，所述液态金属由一个以上双S闭合渔网状的单格液态金属组成，所述弹性主体内设有与液态金属相匹配的渔网状通道，所述液态金属位于渔网状通道内，所述液态金属两端均连接有导线，所述导线伸出于弹性主体表面。本发明解决了需要采用多个传感器组合才能实现不同方向拉伸力检测和识别的问题，能够完全独立的实现不同方向拉伸力检测和识别，具有各向异性的特点。
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